主要技術(shù)指標
質(zhì)量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質(zhì)量流量單位為:mL/min(毫升/分鐘);(SCCM行業(yè)標準)
L/min (升/分鐘)。 (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)為:溫度----273.15K(0℃);
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標
編號 項目 S49 32/MT
1 流量規(guī)格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min
(1,2,3,5,10)L/min
2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥
3 調(diào)節(jié)閥靜止狀態(tài) 常閉
4 準確度 ±1.5%F.S
5 線性 ±1.5%F.S
6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S
7 響應(yīng)時間 ≤8秒(T95)
8 工作壓差范圍 (50~300)kPa; (100~300)kPa(10L/min)
9 耐壓 3MPa; 10MPa
10 工作環(huán)境溫度 (5~45)℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標準密封材料 Viton?, EPDM, 或其他由用戶
13 漏率 1×10-8Pa.m3/s
14 接頭 Φ6mm~Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?;蚱渌捎脩?15 輸入輸出信號 (0~+5.00)V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16 供電電源 ±15V(±5%)(+15V 50mA, -15V 200mA)
17 外形尺寸mm 130(寬)×102(高)×28(厚)
18 重量kg 0.8