S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))特點(diǎn)： 　　　☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。 　　　☆主體采用不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。 　　　☆具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、軟啟動(dòng)、工作穩(wěn)定。 　　　☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動(dòng)控制系統(tǒng)配合。 　　　☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對(duì)氣體的瞬時(shí)流量和累積流量進(jìn)行計(jì)量。 　　　S49 32/MT 質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))主要應(yīng)用領(lǐng)域： 　　　半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制； 　　　分析儀器設(shè)備的氣體計(jì)量與控制； 　　　各種形式的真空鍍膜設(shè)備； 　　　環(huán)境檢測(cè)與分析設(shè)備； 　　　化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測(cè)和控制； 　　　特種材料表面處理裝置與燃燒控制； 　　　混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測(cè)系統(tǒng)等。 主要技術(shù)指標(biāo) 　　　質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))流量出廠通常用氮?dú)?N2)標(biāo)定。 　　　質(zhì)量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)) 　　　　　　　　　　　　L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)) 　　　標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）； 　　　 氣壓----101325Pa(760mmHg) 　　　F.S(Full Scale):表示滿量程值 表1 S49 32/MT質(zhì)量流量控制器(流量計(jì))技術(shù)指標(biāo) 編號(hào) 項(xiàng)目 S49 32/MT 1 流量規(guī)格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min （1,2,3,5,10）L/min 2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止?fàn)顟B(tài) 常閉 4 準(zhǔn)確度 ±1.5%F.S 5 線性 ±1.5%F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2%F.S 7 響應(yīng)時(shí)間 ≤8秒（T95） 8 工作壓差范圍 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min) 9 耐壓 3MPa; 10MPa 10 工作環(huán)境溫度 （5～45）℃ 11 材料 不銹鋼316L 12 標(biāo)準(zhǔn)密封材料 Viton?， EPDM， 或其他由用戶 13 漏率 1×10-8Pa.m3/s 14 接頭 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?；蚱渌捎脩?15 輸入輸出信號(hào) （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負(fù)載輸出電流能力≤3mA) 16 供電電源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA） 17 外形尺寸mm 130（寬）×102（高）×28（厚） 18 重量kg 0．8