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S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)特點：
☆耐壓高及適用于真空條件下工作。低壓降。工作壓力范圍寬，氣體流量不因溫度、壓力的變化而變化。
☆主體采用不銹鋼（316L）結構，氣密材料采用VITON?、聚四氟乙烯等。適用于各種耐腐蝕性氣體。
☆具有精度高、重復性好、響應速度快、軟啟動、工作穩(wěn)定。
☆可任意位置安裝。電氣操作控制顯示，使用方便。易于與電氣系統(tǒng)或自動控制系統(tǒng)配合。
☆配合MT-60 系列流量積算儀，可對氣體的瞬時流量和累積流量進行計量。
S49 32/MT 質量流量控制器(流量計)主要應用領域：
半導體制造行業(yè)的氣體流量控制；
分析儀器設備的氣體計量與控制；
各種形式的真空鍍膜設備；
環(huán)境檢測與分析設備；
化工、石化、食品、冶金、光纖熔煉等行業(yè)氣體流量檢測和控制；
特種材料表面處理裝置與燃燒控制；
混氣配氣系統(tǒng)和泄露探測系統(tǒng)等。
主要技術指標
質量流量控制器(流量計)流量出廠通常用氮氣(N2)標定。
質量流量單位為：mL/min（毫升/分鐘）；(SCCM行業(yè)標準)
L/min （升/分鐘）。 (SLM行業(yè)標準)
標準狀態(tài)為：溫度----273.15K（0℃）；
氣壓----101325Pa(760mmHg)
F.S(Full Scale):表示滿量程值
表1 S49 32/MT質量流量控制器(流量計)技術指標
編號 項目 S49 32/MT
1 流量規(guī)格 （5,10,30,50,100,200,300,500）mL/min
（1,2,3,5,10）L/min
2 調節(jié)閥類型 電磁調節(jié)閥
3 調節(jié)閥靜止狀態(tài) 常閉
4 準確度 ±1.5%F.S
5 線性 ±1.5%F.S
6 重復精度 ±0.2%F.S
7 響應時間 ≤8秒（T95）
8 工作壓差范圍 （50～300）kPa; （100～300）kPa(10L/min)
9 耐壓 3MPa; 10MPa
10 工作環(huán)境溫度 （5～45）℃
11 材料 不銹鋼316L
12 標準密封材料 Viton?， EPDM， 或其他由用戶
13 漏率 1×10-8Pa.m3/s
14 接頭 Φ6mm～Φ10mm, 1/4″Swagelok。1/4″VCR?；蚱渌捎脩?15 輸入輸出信號 （0～＋5.00）V (輸入阻抗≥100KΩ,負載輸出電流能力≤3mA)
16 供電電源 ±15V（±5%）（＋15V 50mA, －15V 200mA）
17 外形尺寸mm 130（寬）×102（高）×28（厚）
18 重量kg 0．8
