S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)特點： 　　*采用主體不銹鋼（316L）結(jié)構(gòu)，與氣體接觸部分采用鐵素體高耐腐蝕軟磁不銹鋼、VITON?、聚四氟乙烯等 　　*適用于各種腐蝕性氣體 　　*氣體流量不因溫度、壓力的變化而失準 　　*高精度 　　*重復(fù)性好 　　*響應(yīng)速度快、軟啟動、穩(wěn)定 　　*低壓降 　　*工作壓力范圍寬（可以在高壓或真空條件下工作）。 　　*操作使用方便，可任意位置安裝 　　*便于與計算機連接實現(xiàn)自動控制。 　　S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)主要應(yīng)用領(lǐng)域： 　　*半導(dǎo)體制造行業(yè)的氣體流量控制 　　*分析儀器設(shè)備的氣體計量與控制 　　*各種形式的真空鍍膜設(shè)備 　　*環(huán)境檢測與分析設(shè)備 　　*化工、石化、食品行業(yè)氣體流量監(jiān)測和控制 　　*特種材料表面處理裝置與燃燒控制 　　*混氣配氣系統(tǒng)和泄漏探測系統(tǒng)等 主要技術(shù)指標 　　質(zhì)量流量控制器(流量計)出廠通常用氮氣（N2）標定。 　　質(zhì)量流量的單位規(guī)定為: 標準狀態(tài) mL/min (毫升/分鐘) (SCCM行業(yè)標準) 　　　　　　　　　　　　　　　標準狀態(tài)L/min （升/分鐘） (SLM行業(yè)標準) 　　標準狀態(tài)規(guī)定為:溫度 --- 0℃ 　　　　　　　　　　　氣壓 — 101325 Pa 　　　　　　　　　　　F.S (Full Scale):表示滿量程值 　　 　　 　　 　　 表1 S49 33M/MT型質(zhì)量流量控制器(流量計)技術(shù)指標 編號 項目 S49 33/MT 1 流量規(guī)格 (5,10,30,50,100,200,300,500)mL/min (1,2,3,5,10) L/min (15,20,30) L/min 2 調(diào)節(jié)閥類型 電磁調(diào)節(jié)閥 3 調(diào)節(jié)閥靜止位置 常閉 4 準確度 ± 1.0% F.S ± 2.0% F.S 5 線性 ±1.0 % F.S，±2.0 % F.S 6 重復(fù)精度 ±0.2 %F.S 7 響應(yīng)時間 ≤8 s（T95） 8 工作壓差范圍 (50 ～ 300) kPa； (10～30)L/min (100～300)kPa 9 耐壓 3 MPa ﹑ 10 MPa 10 工作環(huán)境溫度 5℃ ～ 45℃ 11 材料 不銹鋼316L 12 標準密封材料 Viton?﹑EPDM, 或其他 13 漏率 1×10-8?Pa.m3/s 14 接頭 Ф3mm～Ф10mm, 1/4″Swagelok(或VCR)， 軟管接頭Ф4mm～Ф10mm 或其它 15 輸入輸出信號 0 V ～ 5.00 V (輸入阻抗大于100K, 輸出電流不大于3mA) 16 電源 15 V 50 mA -15V 200 mA 17 外形尺寸 mm 　　　134×134×38 18 重量 kg 1.2 　　注意： S49系列質(zhì)量流量控制器(流量計)分不同的流量范圍，供用戶選擇，也可根據(jù)用戶提出流量定制。