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電子潔凈廠房
隨著科學技術的發(fā)展，各種電子產(chǎn)品生產(chǎn)技術發(fā)展迅速?，F(xiàn)代電子產(chǎn)品要求微型化、精密化、度、量和高性，電子產(chǎn)品本身使用的集成電路、電子元器件的生產(chǎn)過程都要求在受控的環(huán)境下進行操作，受控參數(shù)涉及微粒、化學污染物等與產(chǎn)品生產(chǎn)過程接觸的各種介質(zhì)。電子廠房內(nèi)氣流組織依據(jù)氣流流型可劃分為單向流、非單向流和混合流三種形式。目前對于超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點：
1、超大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開放環(huán)境結合微環(huán)境的方法，在產(chǎn)品質(zhì)量的同時，還可達到減少建設投資、降低運行費用的目的。
2、對于空氣潔凈度等級為1-5級時，基本上采用單向流或混合流；空氣潔凈度等級為6-9級時，基本上采用非單向流。
3、為有效降低能耗、消除空氣處理時冷熱抵消現(xiàn)象，對于新風系統(tǒng)常采用集中處理形式。
檢測項目：
1）懸浮粒子數(shù)
2）溫濕度檢測
3）噪聲的檢測
4）照度的檢測
5）風量和風速的檢測
6）靜壓差的檢測
7）過濾器檢漏光度計法
檢測依據(jù)：GB 50591-2010《潔凈室施工及驗收規(guī)范》
GB 50472-2008《電子工業(yè)潔凈廠房設計規(guī)范》
GB 50073-2001《潔凈廠房設計規(guī)范》
