白光干涉儀

產(chǎn)品用途

結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微鏡與干涉儀，不需要復(fù)雜光路調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨力、易學(xué)易用等優(yōu)點(diǎn)，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測(cè)量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測(cè)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

1.奈米深度3D檢測(cè)

2.高速/無接觸量測(cè)

3.表面形狀/粗糙度分析

4.非透明/透明材質(zhì)皆適用

5.非電子束/非雷射的安全量測(cè)

6.低維護(hù)成本

7.系統(tǒng)硬件搭配lmgscan前處理軟件自動(dòng)解析白光干涉儀條紋

8.垂直高度可達(dá)0.1mm

9.高速的分析算法，讓您不再苦候測(cè)量結(jié)果

10.垂直掃描范圍的設(shè)定輕松以容易

11.有10X、20X、50X、倍率的物鏡可供選擇

12.平臺(tái)X、Y、Z、位置數(shù)字式顯示，使檢測(cè)目標(biāo)尋找快速又便利

13.具有手動(dòng)/自動(dòng)光強(qiáng)度調(diào)整功能以取得的干涉條紋對(duì)比

14.具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測(cè)量模式供選擇

15.具有專利的解析算法可處理半透明物體的3D形貌

16.具有自動(dòng)補(bǔ)點(diǎn)功能

17.可自行設(shè)定掃描方向

產(chǎn)品參數(shù)

1.產(chǎn)品型號(hào)：AE-100M

2.移動(dòng)臺(tái)（mm）：平臺(tái)尺寸100*100 行程13*13

3.物鏡倍率：10倍

4.觀察與測(cè)量范圍（mm）：0.43*0.32

5.光學(xué)分辨率（um）：0.92

6.收光角度（Degrees）：7.4

7.傳感器分辨率：640*480像素

8.Z軸移動(dòng)范圍(mm）：45 手動(dòng)細(xì)調(diào)

9.Z軸位置數(shù)字顯示器：分辨率1um

10.傾斜調(diào)整平臺(tái)：雙軸/手動(dòng)調(diào)整

11.高度測(cè)量范圍（um）：100

12.量測(cè)分辨率（nm）：0.1

13.測(cè)量控制：自動(dòng)

14.掃描速度（um/s）：12（較高）

15.光源：鹵素冷光源

16.光強(qiáng)度調(diào)整：自動(dòng)/手動(dòng)

以上參數(shù)僅供參考，如需要詳細(xì)了解請(qǐng)聯(lián)系客服，以便為您提供更的資料以及測(cè)量服務(wù)