PVD離子鍍膜設(shè)備替代傳統(tǒng)氮化鈦（TiN）離子鍍技術(shù)的新一代耐磨蝕鍍層技術(shù)裝備。它采用低壓離子槍輔助加強的非平衡磁控濺射技術(shù)，能鍍制氮化鋁鈦（TiAlN），碳氮化鈦（TiCN），氮化鉻（CrN），氮化鈦（TiN），氮化鋯（ZrN）及類金剛石等超硬鍍層。通過采用新的復(fù)合鍍層原理和的工件轉(zhuǎn)動結(jié)構(gòu)，能同爐鍍制出上述膜系的3種成分的多層（納米級）復(fù)合鍍層。研制成功的新的工模具鍍層技術(shù)，可按工模具實際使用條件進行綜合膜系設(shè)計。多成分復(fù)合鍍層比單一成份鍍層具有更好的耐磨耐蝕性能，其壽命和加工效率均可比單一鍍層高。 　　PVD離子鍍膜機技術(shù)性能： 　　鍍膜室：殼體為不銹鋼，水冷。 　　內(nèi)腔尺寸：Φ750×H 650 mm. 　　真空系統(tǒng)：分子泵F—250，1500 L／Sec 　　機械泵2X—30，30 L／Sec 　　極限真空度：≤7×10-4Pa 　　恢復(fù)真空：大氣——7×10-3Pa≤30min 　　工件轉(zhuǎn)動：臥式，公自轉(zhuǎn)，公轉(zhuǎn)4～10轉(zhuǎn)／min 　　工件架尺寸：Φ500×350 mm 　　可裝工件數(shù)量：70×14×10 mm工件50件以上。 　　非平衡磁控靶：2個 　　靶電源：2個，0～600V／15A. 　　低壓離子槍：1個，0～60V／180A. 　　低壓離子槍電源：1個 　　偏壓電源：1個，0～600V／20A. 　　等離子清洗：由低壓離子槍進行清洗。 　　工件加熱：由低壓離子槍加熱，或附加加熱器進行加熱。 　　由熱電偶測量溫度。 　　可鍍膜的成份：TiAlN，TiCN，CrN，ZrN，TiN，類金剛石等。 　　充氣系統(tǒng)：由3路質(zhì)量流量控制器（MFC）分別對1路Ar，1路N2，1路C2H2進行控制。 　　加工控制：手動。［另可根據(jù)需要采用計算機和PLC作半自動或自動控制。］ 　　供電電源：3N-220／380V±10％，50HZ，保護地線，耗電≈30KW. 　　冷卻水：壓力≥2Kg／cm2，耗水量約5T／hr.