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雙極脈沖磁控濺射電源適用于中頻孿生靶磁控濺射金屬和非金屬導(dǎo)電材料，特別適合于反應(yīng)磁控濺射鍍制ITO膜、介質(zhì)膜、絕緣保護(hù)膜等。本電源能增加離化率，減小電荷積累引起的異常放電，預(yù)防靶表面中毒現(xiàn)象。電源輸出波形為正負(fù)脈沖交替循環(huán)。
品名 雙極脈沖磁控電源（中頻電源）
型號(hào) MSB系列
輸入 相數(shù) 三相+N
電壓 380V
頻率 50Hz
輸入方式 4線（含零線）
輸出 波形 正負(fù)對(duì)稱(chēng)脈沖
功率 10KW~100KW（可定制）
電壓 0—1200V（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
電流 0—100A（可定制）
穩(wěn)定度 ≤1%
紋波及雜訊 ≤2%
效率 ≥90%
控制 控制方式 標(biāo)準(zhǔn)方式：恒壓/高低壓切換
可選方式：恒流、恒壓、恒功率可切換
控制接口
標(biāo)準(zhǔn)方式：面板手動(dòng)
可選方式：面板手動(dòng)、PLC模擬接口、RS485(Modbus)
保護(hù) 具備缺相、過(guò)熱、限壓、恒功率、過(guò)壓、過(guò)流、短路、超載等保護(hù)功能
冷卻 風(fēng)冷或水冷
外型 防護(hù)等級(jí) IP21
單元尺寸
(W*D*H) 箱體：440(W)X260(H)X580(D) （30KW水冷）
面板：482(W)X280(H)
重量 30KG（30KW）
備注
