美國(guó)MKS1479A氣體質(zhì)量流量計(jì)
質(zhì)量流量控制器(金屬密封)1479A是一種堅(jiān)固的金屬密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制有腐蝕性氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。MKS 1479A質(zhì)量流量控制器(金屬密封),MKS 1479A質(zhì)量流量控制器(金屬密封),MKS 1479A質(zhì)量流量控制器(金屬密封)。
MKS 1479A質(zhì)量流量控制器(金屬密封)的詳細(xì)介紹
質(zhì)量流量控制器(金屬密封)
1479A是一種堅(jiān)固的金屬密封的質(zhì)量流量控制器,可在多種應(yīng)用場(chǎng)合測(cè)量和控制有腐蝕性氣體的流量,特別是可重復(fù)性要求高的場(chǎng)合。配上合適的壓力控制器,它還可以作為壓力控制器使用。
對(duì)于當(dāng)今市場(chǎng)上的質(zhì)量流量控制器,1479A可作為直接替代的產(chǎn)品,標(biāo)準(zhǔn)的3英寸底座使1479能夠直接進(jìn)行安裝而無需改變現(xiàn)有的氣體管道。它具有數(shù)字和模擬兩種模式,其精度為全量程的1%。
技術(shù)參數(shù):
全量程:10SCCM,20SCCM,50SCCM,100SCCM,200SCCM,500SCCM,1000SCCM,2000SCCM,5000SCCM,10000SCCM,20000SCCM。
控制量程:2% to 的全量程。
測(cè)量精度:全量程的1%
靈敏度:全量程的0.1%
熱機(jī)時(shí)間:小于2Min.
響應(yīng)速度:小于2Sec.
輸入電壓:±15VDC@100ma
輸出電壓:0-5VDC
連接器:模擬:9Pin或15Pin或20Pin Card edge.
數(shù)字:RS485或Device net或Profibus
法蘭接口:Swagelok 4VCR,Swagelok4 VCO,Swage 1/4”等
材質(zhì):316不銹鋼。
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AX7690,AX3060,AX7610,AX2500,AX2600,AX7670,AX7680,AX7685,AX7645,LIQUOZON,NOVA-25,NOVA-50,SPECTRUM B5002, SPECTRUM B11002,ACG-3B,ACG-6B,ACG-10B,GHW-12,GHW-25,GHW-50,SPECTRUM 3013,SUREPOWER QL3513, SUREPOWER QL6513, SUREPOWER QL10513, SUREPOWER QL13013,OPTIMA OPT-50, OPTIMA OPT-100, OPTIMA OPT-200, OPTIMA OPT-400, OPTIMA OPT-600,RPG-50,RPG-100,ENI-RFPC,MWH-5,MW-10D,ENI-2500-13.56,MWH-100,MWH-25,VI PROBE,1249A,148JA11CR1M, 148JA12CR1M, 148JA13CR1M, 148JA14CR1M, 148JA21CR1M, 148JA22CR1M, 148JA23CR1M, 148JA24CR1M, 148JA51CR1M, 148JA52CR1M, 148JA53CR1M,0154A-200LSV,0154A-200LRV,244E-1-VPO,244E-1-PLO, 244E-4-VPO,244E-4-PLO,245,247D,0248A-00010RV, 0248A-00010SV, 0248A-00050RV, 0248A-00050SV, 0248A-00100RV, 0248A-00100SV, 0248A-005050RV, 0248A-00500SV, 0248A-01000RV, 0248A-01000SV,250E-1-A,250E-1-D,250E-4-A,250-4-D,DELTA II FRC,MDD,VODMC52CR1BE, VODMC13CR1BE, VODMC33CR1BE,DLI25CSDA, DLI25CSDB, DLI25CKA, DLI25CKB,M330B,1640A,167A,246C,247D,647C,1153A,1152C,1150C,243A,260PS-7,146C,FR4000,660B,120AA-000.1RAJ, 120AA-00001RAJ, 120AA-00001RBJ, 120AA-00001RCJ, 120AA-00010R