SET3/1064/532/355，SFT3：晶圓薄膜電阻修調(diào)機(jī) 激光調(diào)阻機(jī)的成功研制對(duì)推動(dòng)我國(guó)微電子行業(yè)的產(chǎn)業(yè)升級(jí)起到重要作用。激光調(diào)阻機(jī)是利用激光技術(shù)對(duì)厚、薄膜電路進(jìn)行修調(diào)，以得到高精度的電阻值或的輸出信號(hào)。公司生產(chǎn)的激光調(diào)阻機(jī)全部擁有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，采用量的激光源和精密的測(cè)量系統(tǒng)，空氣懸浮平面運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，各項(xiàng)性能指標(biāo)達(dá)到先進(jìn)水平，是取代產(chǎn)品之. 晶圓薄膜電阻修調(diào)機(jī)技術(shù)參數(shù): 1.激光器系統(tǒng) 激光波長(zhǎng)：532nm/355nm 激光平均功率：7W 典型光斑尺寸： 15μm±3μm 實(shí)際切口取決于材料、光學(xué)器件和波長(zhǎng) 冷卻方式：風(fēng)冷 對(duì)焦方式：計(jì)算機(jī)程序控制 2．激光束定位系統(tǒng) 激光束運(yùn)動(dòng)范圍：50mm X 50mm 重復(fù)定位精度：2μm 定位精度：±5μm 激光束小步進(jìn)：0.76μm 3．分步重復(fù)機(jī)械運(yùn)動(dòng)系統(tǒng) 運(yùn)動(dòng)方式：空氣懸浮運(yùn)動(dòng)，無摩擦力 運(yùn)動(dòng)范圍：290mm*260mm 較大陶瓷基板尺寸：150mm*150mm（可根據(jù)要求定做） 運(yùn)動(dòng)分辨率：1μm 重復(fù)精度：2μm 定位精度：±15μm 較大運(yùn)動(dòng)速度：500mm/s 4．測(cè)量系統(tǒng) 激勵(lì)方式：電流激勵(lì) 恒流源：0.01μA~100mA計(jì)算機(jī)程控選擇 電阻測(cè)量方式：四線制加電流測(cè)電壓（可選擇二線制） 直流電壓測(cè)量：10mV~10V（滿程電壓） 電阻測(cè)量精度：低阻：<0.05% 0.5%/R （R<100Ω） 中阻：<0.05% 高阻：<0.05% 0.5%R（R>0.1MΩ） 電阻測(cè)量范圍： 0.1Ω-10MΩ 電阻測(cè)量速度：25μs 直流電壓分辨率：0.16μV（在10mV滿量程條件下） 探針板運(yùn)動(dòng)：計(jì)算機(jī)程序控制 5．計(jì)算機(jī)及軟件系統(tǒng) 工業(yè)控制計(jì)算機(jī)（雙核），19寸液晶 操作系統(tǒng)：Windows XP 軟件可編程，界面友好，功能強(qiáng)大 軟件系統(tǒng)可免費(fèi)升級(jí)和進(jìn)行功能擴(kuò)展 6．圖像監(jiān)視系統(tǒng) 監(jiān)視方式：激光同軸監(jiān)視 監(jiān)視視場(chǎng)：2-3mm（對(duì)角線） 顯示屏：19寸液晶 7．其它技術(shù)指標(biāo) 供電電壓：220V AC 整機(jī)功耗：1200W 激光器的選擇： 針對(duì)被修調(diào)電阻材料特性，選擇合適波長(zhǎng)的激光器，可提升切割效果，對(duì)于金屬薄膜電阻，一般采用532um或355nm短波長(zhǎng)激光可達(dá)到理想效果，有些金屬薄膜電阻也可以采用 晶圓薄膜電阻修調(diào)機(jī)應(yīng)用和市場(chǎng)： 主要應(yīng)用于厚、薄膜電路的精密調(diào)節(jié)。廣泛應(yīng)用于厚膜混合集成電路，電子元器件，汽車電器，傳感器，科研，片式電阻行業(yè)等。 公司名稱：武漢三工光電設(shè)備制造有限公司 公司地址：湖北武漢東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)武漢大學(xué)科技園武大園四路 聯(lián)系人：陶小姐 電話：027-59722666-8013 手機(jī)：15671696583 QQ:1563376021 阿里旺旺：sunic40 慧聰發(fā)發(fā)：sunic40