伺服傾角傳感器是由非接觸式位移傳感器、力矩馬達(dá)、誤差反饋電路和懸臂質(zhì)量塊組成。當(dāng)傳感器發(fā)生傾斜時，懸臂質(zhì)量塊便離開原來的平衡位置，非接觸位移傳感器檢測出變化后將位置信號送入誤差和放大電路，一方面?zhèn)鞲衅鬏敵雠c傾角成一定比例的模擬信號，另一方面，該信號經(jīng)反饋電路送入力矩馬達(dá)線圈。此時，力矩馬達(dá)會產(chǎn)生一個與懸臂質(zhì)量塊運(yùn)動方向相反、大小相等的力矩，力圖使懸臂質(zhì)量塊回到原來平衡的位置。這樣經(jīng)過一定的時間后，懸臂質(zhì)量塊就停留在一個新的平衡位置。這時，傳感器輸出的信號才是真正有效的信號。該輸出信號一般為直接電壓信號，輸出電壓與角度值成正弦關(guān)系。 特點(diǎn)： 非線性高； 重復(fù)性好； 分辨率高； 頻率響應(yīng)快； 量程范圍寬。 應(yīng)用： 移動天線穩(wěn)定； 各種平臺調(diào)平； 橋梁結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測； 機(jī)車控制； 大壩監(jiān)測； 軌道測量； 性能指標(biāo)： 測量范圍 ±1° ±3° ±14.5° ±30° ±90° 靈敏度 286.5V/g 95.5V/g 20V/g 10V/g 5V/g 非線性 0.05%FRO 0.05%FRO 0.02%FRO 0.02%FRO 0.05%FRO 輸入軸對準(zhǔn)性 0.1° 0.15° 0.25 ° 0.5° 1.0° 零點(diǎn)輸出 0.1VDC 0.04VDC 0.02VDC 0.02VDC 0.02VDC 零點(diǎn)溫漂 0.005V/℃ 0.003 V/℃ 0.001V/℃ 0.0005V/℃ 0.0003V/℃ 靈敏度溫漂 400ppm/°C 300ppm/°C 100ppm/°C 60ppm/°C 60ppm/°C 固有頻率 0.5Hz 2Hz 15Hz 20Hz 40Hz 頻率響應(yīng) 0.5Hz(-3dB) 2Hz(-3dB) 15Hz(-3dB) 20Hz(-3dB) 40Hz(-3dB) 輸出阻抗 100Ω 輸出信號 ±5VDC或4~20mA 噪聲 0.002 Vrms 分辨率 1µradian(0.000057°) 電源電壓 ±12 ~ ±18VDC 消耗電流 ±15mA 工作溫度 -18~71℃ 儲存溫度 -60~90℃ 振動 20 G rms 沖擊 1500g, 0.5ms, ½ sine 密封 MIL-STD 202, Method 112