概要 LF400系列采用溫度變化對應(yīng)于質(zhì)量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制。 可應(yīng)用在5SCCM到10SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響。 產(chǎn)品系列完整，可選擇數(shù)字式、模擬式、普通、高精度、高壓力型，性能且價格具有競爭力，應(yīng)用領(lǐng)域廣泛。 特點 模擬式熱質(zhì)式流量計/流量控制器： 低單價 環(huán)境溫度補正 可應(yīng)用的流率范圍廣： 0～5、10、20、30、50、100、200、500SCCM 0～1、2、3、5、10SLM 高精度 ±1%(≤10SLM) 可選用LF系列控制模塊，具有數(shù)位顯示、電源供應(yīng)、流量設(shè)定等功能 國際兼容 應(yīng)用 工業(yè)設(shè)施的氣體供應(yīng)監(jiān)測/控制。 氣體分析設(shè)備。 固定氣體流量控制。 氣體混合或分離設(shè)備 標(biāo)準(zhǔn) 氣體質(zhì)量流量用氮氣(N2)標(biāo)定。 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為： 標(biāo)準(zhǔn)溫度………………0℃（273.15K） 標(biāo)準(zhǔn)壓強………………101325Pa 輸入輸出 低價格，高性能 LF400 模擬式系列 熱式質(zhì)量流量計/流量控制器 輸入設(shè)定電壓…………0～ 5.00V 輸出電壓檢測…………0～ 5.00V (金屬密封型) 型號 LF400-M □ □ － □□□ － □□□ － □ □ □ 型式 A 模擬式 D 數(shù)字式 功能 M 流量計 C 流量控制器 流量范圍 ABC 氣體種類 013 N2 008 Air 015 O2 004 Ar 025 CO2 001 He FFF 其他 接頭 1/4¨VCR 1 1/2¨VCR 2 3 mm SWL 3 6 mm SWL 4 其他 F 訊號 DC 0~5V 1 其他 2 電源 DC /-15V 1 流量范圍是以mL/min，L/min 為單位 例： 5mL/min 表示為005 500mL/min表示為500 50 L/min(nor) 表示為50L 規(guī)格 (熱式) : 功能 流量計/控制器 基本型號 LF400-M 滿量程流量范圍(N2) SCCM 0～5、10、20、30、50、100、200、500 SLM 0～1、2、3、5、10 精度(％F.S) ±1 控制閥動作型式 常閉式 線性(％F.S) ±0.5～1 重復(fù)精度(％F.S.) ±0.2 響應(yīng)時間(sec) ≤1 流量輸出信號 0～5.00VDC 流量設(shè)定信號 0～5.00VDC 電器接頭 DB15 pin(接頭) 工作環(huán)境溫度 (℃) 5～45 工作壓差 (MPa) 0.1～0.5 漏率 atm.cc/sec He 1×10-9 較大耐壓 3MPa 介質(zhì)接觸材質(zhì) 304、316、316L 密封材料 金屬密封 接頭 VCR 1/4¨、1/2¨ Swagelok1/8¨、1/4¨ 、3/8¨ 、1/2¨或φ3、φ6、φ8、φ10、φ12mm 接頭和尺寸 Φ6mm,1/4¨Swagelok:127×28×100mm 1/4¨VCR:127×28×100mm 電源要求 15V,50mA;-15V,200mA 尺寸/定義圖: 設(shè)定/顯示/電源一體型控制器 LF-1D 1: 輸出電源： 15V±5% 500mA -15V±5% 500mA2： 基準(zhǔn)源： 5.00V±0.1％ 5mA3： 供電電源：8VDC-24VDC，50Hz±5%4： 輸入輸出信號：電壓信號0-5V，電流信號4-20mA5： 外形尺寸：96×96×125mm6： 顯示器：128×64點陣式液晶，高亮度寬溫（-20~70℃）液晶屏，畫面清晰LED背光7： 較大功耗：8w8： 控制通道：單路控制顯示9： 基本誤差：±0.2%FS10：環(huán)境溫度：0-50℃11：環(huán)境濕度：0-85%RH12：防護等級：IP40