更詳細資料:131-2297-6482 婁經(jīng)理
光學(xué)系統(tǒng)
曝光時間調(diào)解器:0.1至999.9秒(可調(diào)節(jié)精度0.1s);
365-400nm光強傳感及電源供應(yīng)控制電路及反饋閉環(huán);
聲控功率警報裝置可防止系統(tǒng)功率超過設(shè)定指標;
有安全保護裝置的溫度及其氣流傳感器;
全景準直透鏡光線偏差半角:<1.84度;
波長濾片檢查及安裝裝置;
抗衍射反射功能高效反光鏡;
二向色的防熱透鏡裝置;
防汞燈泄漏裝置;
配備蠅眼棱鏡裝置;
配備近紫外光源,
--220 nm 輸出強度 – 大約 8-10 mW/ cm2
--254 nm 輸出強度 – 大約 12-14 mW/ cm2
--365 nm 輸出強度 – 大約 18-20 mW/ cm2
--400 nm 輸出強度 – 大約 30-35 mW/ cm2
主要配置:
6”,8”光源系統(tǒng)
可支持2”,3”,4”,6”,8”(圓/方片)及碎片光刻(支持特殊工藝卡盤設(shè)計)
手動系統(tǒng),半自動系統(tǒng),
支持電源350-2000 Watt
支持深紫外近紫外波長(可選項)<1.84度;
CCD或顯微鏡對準系統(tǒng)
背后對準測試1:
3um光刻膠套刻至5umAl線內(nèi)
背后對準測試2:
硅片套刻金屬10um對準標記
主要性能指標::
光強均勻性Beam Uniformity:
--<±1% over 2” 區(qū)域
--<±2% over 4” 區(qū)域
--<±2.5% over 6” 區(qū)域
接觸式樣曝光特征尺寸CD(深紫外DUV):0.35 um
接觸式樣曝光特征尺寸CD(近紫外NUV): 0.5 um
支持接近式曝光,特征尺寸CD:
--0.8um 硬接觸
--1um 20 um 間距時
--2um 50um 間距時
正面對準精度±0.5um
支持正膠、負膠及Su8膠等的厚膠光刻,特征尺寸:100um-300um