鈦靶,鈦濺射靶;應(yīng)用于裝飾和功能 鍍膜工業(yè)、平面顯示工業(yè)、光數(shù)據(jù)存儲(chǔ)工業(yè) (光盤(pán)工業(yè))光通訊工業(yè)、玻璃鍍膜(建筑 玻璃和汽車(chē)玻璃)工業(yè)等行業(yè).度是靶材的主要性能指標(biāo)之,因?yàn)榘胁牡亩葘?duì)薄膜的性能影響很大。靶材的主要性能要求:度度是靶材的主要性能指標(biāo)之,因?yàn)榘胁牡亩葘?duì)薄膜的性能影響很
靶材的主要性能要求:
度
度是靶材的主要性能指標(biāo)之一,因?yàn)榘胁牡亩葘?duì)薄膜的性能影響很大。不過(guò)在實(shí)際應(yīng)用中,對(duì)靶材的度要求也不盡相同。例如,隨著微電子行業(yè)的迅速發(fā)展,硅片尺寸由6