優(yōu)勢：在微電子和半導體行業(yè)中，檢驗、過程控制或缺陷和故障分析的速度至關重要。檢測缺陷的速度越快，您做出響應的速度也就越快.

視場寬敞30%:DM3 XL 檢驗系統(tǒng)憑借大視場幫助您的團隊更快地識別缺陷，提高您的收益率。充分利用獨特的宏觀物鏡，視場寬敞 30%。更更多細節(jié)盡收眼底，工作更高效

看到更多細節(jié)意味著工作更高效。

為快速掃描達到 6" 的大組件，DM3 XL 提供獨特的宏觀物鏡。中顯恒業(yè)，進口科學儀器提供商。

利用 0.7x 放大倍率，它可以即刻采集 35.7 mm的視場–比其他常規(guī)掃描物鏡寬敞30%

在宏觀物鏡下，缺陷無所遁形：

提高您的收益率

可靠檢測晶片邊緣或中心顯影不足的區(qū)域

檢測不均勻的徑向膜厚度多細節(jié)盡收眼底，工作更高效

適用于所有相襯觀察方法的 LED

DM3 XL 針對所有相襯觀察方法使用 LED 照明。LED 照明可提供恒定的色溫，并在所有亮度等級下提供真彩色成像。

在所有亮度等級下實現(xiàn)真彩色成像

自由調節(jié)

無需更換燈泡 – 無停機時間

可復制的結果

由于 LED 使用壽命長，耗電量低，因此還具有巨大的成本節(jié)約潛力。

光學“高手”

DM3 XL 讓您以實惠的價格享受到卓越的光學性能。

采用斜射照明檢驗側面、邊緣或碎屑：以簡單有效的方式從不同角度照亮樣品，從而實現(xiàn)各種形貌的可視化。

借助深暗場對比檢測樣品較低層中的微小劃痕或小顆粒。

您將對明顯提高的靈敏度和分辨率感到震驚。

不同樣品 – 可變載物臺插件

無論您想要檢驗的樣品是哪種類型，尺寸如何，均有種類豐富的載物臺插件供您選擇：

載物臺尺寸：150 mm x 150 mm

載物臺插件：金屬插件、晶片支座或掩模支座

快速的粗略或精準載物臺定位

工作舒適直觀

彩色編碼光圈輔助 (CCDA) 對分辨率、對比和景深的基本設置進行簡化，有助于提升您的工作速度，并程度減少操作失誤。

直觀明了的功能幫助您的團隊更快速地交付結果。

得益于可輕松操作的控件，用戶可在切換對比度或照明時，雙手繼續(xù)操作顯微鏡，雙眼專注于樣品之上。

右手可輕松操控光強控制器

使用可變人體工學鏡筒和調焦旋鈕，根據(jù)不同身高調整顯微鏡

徠卡DM3 XL半導體行業(yè)專用材料顯微鏡
主要技術指標
1、 主機：研究級正置式顯微鏡主機，全部原裝生產(chǎn)。
2、 光學系統(tǒng)：采用國際進的HCS無限遠光學系統(tǒng)，有效校正軸向和徑向色差，提供最清晰銳利的圖像。同時采用國際標準的45mm齊焦距離。
3、觀察方式：顯微鏡具備反射明場、暗場、斜射照明觀察方式，燈箱由主機直接供電，無外置電源。
4、 反射光路：具備不低于4位功能轉換模塊，支持明場，暗場，偏光和斜射照明等觀察方式。整體光路支持25mm視場。后期可升級微分干涉觀察方式等。
*5、 一鍵式斜射照明觀察模式：可快速從明場觀察轉換為斜射觀察模式，可對樣品表面微小起伏實現(xiàn)立體觀察,發(fā)現(xiàn)在其他觀察方式下難以觀察到的晶界和微小缺陷等結構。
6、 放大倍數(shù)：50X~1000X（10倍標準目鏡下）
7、專業(yè)三目觀察鏡筒：高級三檔分光正相觀察筒，瞳距和觀察角度均可調。目鏡筒可實現(xiàn)100:0/50:50/0:100三檔分光，克服外部燈絲像對顯微圖像的影響。視場數(shù)不低于25；
8、目鏡：配置10X超寬視野目鏡，視場數(shù)不低于25mm，同時配置目鏡測微尺，目鏡屈光度可調節(jié)。
9、物鏡轉換器：不低于五孔高精度明暗場物鏡轉換器，保證五只物鏡同時安裝，每個物鏡孔孔徑不低于32mm，保證通光量。
10、物鏡：配置高精度高反差萬能半復螢石明暗場物鏡5X、10X、20X、50X、100X五只，所有物鏡支持明場、暗場、偏光、斜射照明和DIC微分干涉等觀察方式，均為干鏡頭。物鏡孔徑不低于32mm，保證通光量。
*11、調焦機構：至少具備粗、中、細三檔高精度調焦機構，并且調焦手輪高度可調，以保證更為準確快捷的調焦設置，同時適合不同手型大小和不同臂長的使用者。
12、高級機械載物臺：大型載物臺，可實現(xiàn)透反射觀察，XY同軸控制手柄，操作靈活。X/Y軸調節(jié)旋鈕松緊度（張力）可調。載物臺行程不低于150mm×150mm，另配備圓形晶圓臺（不得低于6寸）
13、光源：需采用研究級科勒照明LED高亮光源（亮度高于12V100W鹵素燈），保證提供足夠照明，燈箱帶集光透鏡，保證照明光線方向性、增強照明均勻度，減少雜散光干擾。LED光源無發(fā)熱和閃爍，有效壽命3萬小時以上。透反射光源均要求主機直接供電，一鍵即可切換，不接受外置電源
*14、光闌調節(jié)：需配置CDA彩色編碼光闌輔助系統(tǒng)，可實現(xiàn)光闌大小調節(jié)直接與物鏡倍率相對應，更準確的控制景深，且提供對比度、襯度，減少人為粗略調節(jié)帶來的視域明暗差異、襯度差異。
*15、數(shù)碼攝像頭：采用顯微鏡廠家同品牌生產(chǎn)數(shù)碼攝像頭，1000萬有效物理像素
*15.1 不低于1000萬物理像素彩色高清（HD）攝像頭，具備靜態(tài)圖像采集和視頻錄制功能，靜態(tài)圖像物理分辨率為3648X2736(1000萬像素)，視頻片段分辨率為200萬像素。
*15.2. 獨立式操作：無需連接電腦即可進行圖像采集和視頻錄制，所有操作通過無線遙控器實現(xiàn)。所采集的數(shù)據(jù)高速存儲在可取出的SD卡上。無線遙控器可設定所有攝像頭參數(shù)，只需一個按鍵即可捕捉和查看圖像或影像片段。
15.3. 快速實時圖像傳輸：可實現(xiàn)每秒30幀的全高清分辨率（1920 x1080）動態(tài)實時圖像傳輸觀察，限度減少拖尾現(xiàn)象；具備HDMI高清接口，可進行高清圖像及視頻傳輸；
16、圖象分析系統(tǒng)基本平臺（與顯微鏡同品牌原裝圖像采集系統(tǒng)，非國內定制漢化軟件）：
16.1 用戶界面,工作流程導向用戶界面， 操作容易和符合人工學要求. 優(yōu)化的數(shù)據(jù)處理為快速采集圖象和大量數(shù)據(jù)集顯示,直觀的設定實驗條件給快速設置和采集單色通道圖象
16.2 采圖,高速圖象采集.完全控制照相機性能如曝光, 增益, binning, 黑的, 白的和伽瑪值, 局部圖象采集.-圖象顯示和管理,大圖象視窗在采集中或后復覽顯示單通道, 多通道圖象.
16.3測量模塊：可進行圖像二維尺寸的測量測量項目包含長度、角度、周長、面積和平均強度等；另外具備手動活圖實時測量功能；
16.4 圖象拼接功能：具備圖像拼接功能，擴展觀察視野面積；
17、電腦：Dell商務電腦一臺，市場主流配置，1T硬盤，4G內存，1G獨顯，22寸液晶屏幕。