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深圳永興達(dá)超聲投入式超聲波震板
YXD-1000系列投入式超聲波震板由震板及超聲波發(fā)生器兩部分組成，適用于放置在各種容器內(nèi)，根據(jù)安裝位置不同可做成底震式，側(cè)震式和頂震式，適應(yīng)各種不同清洗要求。
分體式結(jié)構(gòu)，震板與超聲波發(fā)生器之間采用高頻線連接，使用及保養(yǎng)均方便
全不銹鋼結(jié)構(gòu)，耐酸耐堿，美觀耐用，特殊溶液時(shí)也可選用鈦板等材料制作
可選擇采用28KHZ，40KHZ，68KHZ，80KHZ，120KHZ，170KHZ的工作頻率。
安裝布置靈活，根據(jù)需要超聲輻射面可布置在清洗槽的底面、側(cè)面或頂面
美國(guó)高Q值換能器，超聲功率強(qiáng)勁，經(jīng)久不衰
產(chǎn)品功能
1、爐前清洗：擴(kuò)散前清洗。
2、光刻后清洗：除去光刻膠。
3、氧化前自動(dòng)清洗：氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。
4、拋光后自動(dòng)清洗：除去切、磨、拋得沾污。
5、外延前清洗：除去埋層擴(kuò)散后的二氧化硅及表面污物。
6、合金前、表面鈍化前清洗：除去鋁布線后，表面雜質(zhì)及廣膠殘?jiān)?
7、離子注入后的清洗：除去光刻膠，二氧化硅層。
8、擴(kuò)散預(yù)淀積后清洗：除去預(yù)淀積時(shí)的BSG和PSG。
9、CVD后清洗：除去CVD過程中的顆粒。
10、附件及工具的清洗：除去表面所有的沾污物。
