keithley6517

吉時(shí)利 6517
資料：最高的電流測量靈敏度1×10-17A；最高的電阻(率)直接測量能力5×10-17Ω；準(zhǔn)確度、靈敏度、功能、價(jià)格優(yōu)于任何其他公司的高阻計(jì)/靜電計(jì)。測量范圍：電流(10-17~10-2A)；電壓(10-6~102/104V)；溫度(-190~1350℃)；電阻(10-1~1017Ω)；電荷(10-15~10-6C)；濕度(0.3%~100%)

吉時(shí)利 Keithley 6517 靜電計(jì) 高阻表 的詳細(xì)介紹
吉時(shí)利 6517靜電計(jì)/高阻表資料：

最高的電流測量靈敏度1×10-17A；
最高的電阻(率)直接測量能力5×10-17Ω；
準(zhǔn)確度、靈敏度、功能、價(jià)格優(yōu)于任何其他公司的高
阻計(jì)/靜電計(jì)。
測量范圍：
電流(10-17~10-2A)；
電壓(10-6~102/104V)；
溫度(-190~1350℃)；
電阻(10-1~1017Ω)；
電荷(10-15~10-6C)；
濕度(0.3%~100%)

主要性能：
輸入阻抗大于2×1014Ω；
輸入端壓降小于20μV；
儀器內(nèi)部溫度濕度補(bǔ)償；
已備1kV精密程控電壓源，最小步長5mV；
測量數(shù)據(jù)可作為t,T,H的函數(shù)；
六位半弱電流和高阻電壓測量分辯率；
小信號帶寬100kHz；
直接測體/表面電阻率1018Ωcm,1017Ω/口；
噪聲小于7.5×10-16A；
具有十通道測量擴(kuò)展能力；
快速弱電流測量125點(diǎn)/秒；
多參數(shù)同時(shí)測量和顯示；
帶IEEE-488.2接口和RS-232接口；
前放輸出(阻抗轉(zhuǎn)換)和模擬輸出；
最長可驅(qū)動(dòng)300米電纜；
數(shù)據(jù)存儲(15K,Max),觸發(fā)聯(lián)接技術(shù)

選 件：
8009-體/表面電阻率測試箱；
8002A-元器件測試箱；
6521/6522-十通道低漏電流掃描卡；
6517-RH-濕度探頭；
KPC-488.2AT-IEEE-488.2接口卡；
TESTPOINT-測控軟件包；

SC-9(22)-二(三)同軸低噪聲電纜；
6103C-40KVDC輸入分壓探頭；
237-TRX-NG-三槽三同軸至BNC轉(zhuǎn)接器；
5156-校準(zhǔn)源；
6524-高阻、體/表面電阻率測試軟件包，最新變電壓
極性法增強(qiáng)高阻測試能力

軟件支持：
與617靜電計(jì)兼容，SCPI命令；
6524高阻、體/表面電阻率測試軟件；
有LABVIEW和TESTPOINT軟件所驅(qū)動(dòng)程序；
多種編程舉例；
內(nèi)置九個(gè)標(biāo)準(zhǔn)測試程序：
二級管漏電流測試；
電容漏電測試；

表面絕緣電阻測試；
電纜絕緣電阻測試；
方波掃描測試；
電阻電壓系數(shù)測試；
體電阻率測試；
表面電阻率測試；
階梯波掃描測試

62/65系統(tǒng)：
62系統(tǒng)適用于高阻元器件測試，包括6517A高阻計(jì)，8002A元器件測試盒，6524軟件及電纜附件；
65系統(tǒng)適用于高阻材料測試，包括6517A高阻計(jì)8009電阻率測試盒，6524軟件及電纜附件

技 術(shù) 指 標(biāo)
電 流
量程五位半分辯率精度18℃~28℃±(讀數(shù)的%+字)(1年)溫度系數(shù)0℃~18℃&28℃~50℃±(讀數(shù)的%+字)/℃
20pA 100aA 1+30 0.1+5
200pA 1fA 1+5 0.1+1
2nA 10fA 0.2+30 0.1+2
20nA 100fA 0.2+5 0.03+1
200nA 1pA 0.2+5 0.03+1
2μA 10pA 0.1+10 0.005+2
20μA 100pA 0.1+5 0.005+1
200μA 1nA 0.1+5 0.005+1
2mA 10nA 0.1+10 0.008+2
20mA 100nA 0.1+5 0.008+1

電 阻
量 程 五位半分辯率 精度18℃~28℃±(讀數(shù)的%+字)(1年) 溫度系數(shù) 測量電壓 電流量程
2MΩ 10Ω 0.125+1 0.01+3 40V 200μA
20MΩ 100Ω 0.125+1 0.01+1 40V 20μA
200MΩ 1kΩ 0.15+1 0.015+1 40V 2μA
2GΩ 10kΩ 0.225+1 0.035+1 40V 200nA
20GΩ 100kΩ 0.225+1 0.035+1 40V 20nA
200GΩ 1MΩ 0.35+1 0.110+1 40V 2nA
2TΩ 10MΩ 1.35+1 0.110+1 400V 2nA
20TΩ 100MΩ 1.025+1 0.105+1 400V 200pA
200TΩ 1GΩ 1.15+1 1.125+1 400V 20pA

電 荷
量程五位半分辯率精度18℃~28℃±(讀數(shù)的%+字)(1年)溫度系數(shù)0℃~18℃&28℃~50℃±(讀數(shù)的%+字)/℃
2nC 10fC 0.4+5 0.04+3
20nC 100fC 0.4+5 0.04+1
200nC 1pC 0.4+5 0.04+1
2μC 10pC 0.4+5 0.04+1

電 壓
量程五位半分辯率精度18℃~28℃±(讀數(shù)的%+字)(1年)溫度系數(shù)0℃~18℃&28℃~50℃±(讀數(shù)的%+字)/℃
2V 10μV 0.025+4 0.003+2
20V 100μV 0.025+3 0.002+1
200V 1mV 0.06+3 0.002+1

溫度(熱電偶)
熱電偶類型 量 程 精度18℃~28℃±(讀數(shù)的%+字)(1年)
K -190℃~1350℃ ±(0.27%±1℃)

相對濕度
量 程 精度18℃~28℃±(讀數(shù)的%+相對濕度%)(1年)
0~100% ±(0.3%±0.5)

電 壓 源
量 程 五位半分辯率 精度18℃~28℃±(設(shè)置的%+偏置)(1年) 溫度系數(shù)0℃~18℃&28℃~50℃
±(設(shè)置的%+偏置)/℃
100V 5mV 0.15+10mV 0.005+1mV
1000V 50mV 0.15+100mV 0.005+10mV