特點
整機采用國際先進的有限元分析技術(shù)設(shè)計。應(yīng)用“精密斜梁設(shè)計技術(shù)”,使橫梁重量輕、重心低、剛性強,幾何精度高、運動平穩(wěn)。
三軸均采用高剛性、熱膨脹系數(shù)小的優(yōu)質(zhì)花崗巖材料,具備相同的溫度特性,確保了整機優(yōu)良的熱穩(wěn)定性和長期使用精度的可靠性。
采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的靜壓氣浮式導(dǎo)軌,軸承跨距大,抗角擺能力強,阻力小、無磨損、運動更平穩(wěn)。
驅(qū)動系統(tǒng)采用國際知名品牌的高性能直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動,確保傳動無噪聲、快捷、平穩(wěn)、精確和更長的使用壽命。
Y軸采用燕尾式導(dǎo)軌,有效消除了運動扭擺,保證了運動時的最大剛性和任意位置的測量精度。
Z軸采用氣缸平衡裝置,極大地提高了Z軸的定位精度及運動平穩(wěn)性。
技術(shù)參數(shù)
(注:JSC12Y10N/NH中Y為訂制長度)