產(chǎn)品分類 更多>>
產(chǎn)品推薦
類型
渦輪分子泵
品牌
大阪真空機(jī)器制作所
型號(hào)
超高真空型TG-ML
材質(zhì)
-
日本大阪真空機(jī)器制作所 磁懸浮復(fù)合分子泵超高真空型TG-ML
大幅度減低了振動(dòng)的TG-ML系列
半導(dǎo)體制造已經(jīng)步入到 進(jìn)一步的「微小化」，「高度集成化」。并且，在分析，測(cè)量，檢查工序也要求「高精度化」、「高性能化」。
為了實(shí)現(xiàn)微細(xì)加工以及微細(xì)領(lǐng)域的一些測(cè)量分析等，即使提升控制技術(shù)，設(shè)備有振動(dòng)就無(wú)意義了。所以在非常需要減低泵的振動(dòng)。
用途
■ EUV曝光等新一代半導(dǎo)體制造
■ 高精度、高性能的電子顯微鏡，分析裝置，測(cè)量裝置等
TG-ML系列の振動(dòng)特性
把泵體的振動(dòng)值成功的控制在1nm以內(nèi)！ ※本公司的測(cè)定方法
■ 如果安裝專用減振器，還可以再把振動(dòng)值降低一個(gè)數(shù)量級(jí)！
規(guī)格
TG390ML | TG420ML | TG900ML | TG1300ML | ||
吸氣口法蘭 | VG100 | VG150 | VG150 | VG200 | |
CF100 | CF160 | CF160 | CF200 | ||
ISO-B100 | ISO-B160 | ISO-B160 | ISO-B200 | ||
抽氣速度 (L/s) | N2 | 340 | 400 | 900 | 1300 |
(附帶金屬保護(hù)網(wǎng)) N2 | 320 | 370 | 860 | 1230 | |
H2 | 290 | 300 | 1050 | 1200 | |
較大壓縮比 | N2 | 1 產(chǎn)品推薦
1.00元/臺(tái)
日本KOYO光洋 小型真空清洗箱爐μBF
1.00元/臺(tái)
日本大亞真空（DIAVAC)皮拉尼計(jì)PSG-1
1.00元/臺(tái)
日本大亞真空（DIAVAC) 皮拉尼計(jì)PT-4P
1.00元/臺(tái)
日本大亞真空（DIAVAC) 電離真空計(jì) IT-L20P
1.00元/臺(tái)
日本大亞真空（DIAVAC) 熱處理爐（金屬加熱器）
1.00元/個(gè)
日本大亞真空（DIAVAC) 氣動(dòng)式夾閥 3AW-25、40
1.00元/臺(tái)
日本大亞真空(DIAVAC) 真空計(jì)轉(zhuǎn)換器用電源顯示器＜TR-1DA＞
1.00元/臺(tái)
日本KOYO光洋 真空烘烤爐
1.00元/臺(tái)
日本大阪真空機(jī)器制作所 磁懸浮復(fù)合分子泵超高真空型TG-ML
“日本大阪真空機(jī)器制作所 磁懸浮復(fù)合分子泵超高真空型TG-ML”信息由發(fā)布人自行提供，其真實(shí)性、合法性由發(fā)布人負(fù)責(zé)。交易匯款需謹(jǐn)慎，請(qǐng)注意調(diào)查核實(shí)。
| |||
