一、去離子水基本概況

去離子水制取工藝原理分為源水預處理系統(tǒng)、反滲透系統(tǒng)和超化系統(tǒng)三大部分。

1、源水預處理系統(tǒng)

PP纖維濾芯：可過濾精度達5μm?？捎行V除源中的泥沙。鐵銹，藻類等顆粒類雜質(zhì)。

AC活性炭濾芯：選用椰殼為原料，采用物理法精制而成。具有耐磨強度好，吸附性能高，

使用時間久等特點，對凈水、水的制造有好的效能，是熱電、啤酒、飲料及水設(shè)備的理想材料。

KDF復合濾芯：內(nèi)裝度銅鋅合金 椰殼活性炭濾料。

軟化濾芯：有效地軟化水質(zhì)，去除水中的氯離子鈣鎂離子等。

2、反滲透系統(tǒng)

RO（reverse osmosis）反滲透技術(shù)是利用壓力差為動力的膜分離過濾技術(shù)。源于美國二十世紀六十年代宇航科技研究。RO反滲透膜孔徑小至納米級（1納米=10-9米），在一定的壓力下，H20分子可以通過RO膜，而源水中的無機鹽離子，有機物，膠體，細菌，熱源等雜質(zhì)無法通過RO膜，從而使可以透過的水和無法透過的濃縮水嚴格分開；

RO膜對高價離子，膠體細菌及分子量大于300Dalton的有機物（包括熱源）去除率高達99%以上，對低價離子（NA，K0去除率達90-95%，當源水電導率《350μs/cm。RO水電導率通常〈=5μs/cm。符合實室三級用水標準。反滲出透法是達到90-95%雜質(zhì)去除率經(jīng)濟的方法。同時也是超水系統(tǒng)較好的前處理方法。

3、超化系統(tǒng)

離子交換樹脂利用H 交換濾除進水中的陽離子，利用OH^-交換濾除進水中的陰離子，樹脂中置換出的H 和OH^-結(jié)合后生成H₂O，超化柱裝填美國陶氏UPW-450超水專用拋光樹脂，其產(chǎn)水電阻率可達18.2MΩ.cm。

二、去離子水處理指標：

去離子水電阻率達到18MΩ*cm（25℃）的水。常用于集成電路工業(yè)中用于半導體原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制備和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固態(tài)電子器件、厚膜和薄膜電路、印刷電路、真空管等的制作也都要使用超水。

①無機電離雜質(zhì)，如 Ca2 、Mg2 、Na 、K 、Fe2 、Fe3 、Mn2 、Al3 、HCO-、CO32-、SO42-、Cl2、NO3-、NO2-、SiO32-、PO43-等；

②有機物，如烷基苯磺酸、油、有機鐵、有機鋁以及其他碳氫化合物等；

③顆粒，如塵埃、氧化鐵、鋁、膠體硅等；

④微生物，如細菌、浮游生物和藻類等；

⑤溶解氣體，如N2、O2、CO2、H2S等。超水中電離雜質(zhì)的含量用水的電阻率數(shù)值來衡量。理論上，水 中只有H離子和OH離子參加導電。在25℃時超水的電阻率為 18.3（兆歐