加熱爐為要分輻射室和對流室？答：1)加熱爐的輻射室有兩個作用：一是作燃燒室；二是將燃燒器噴出的火焰、高溫?zé)煔饧盃t墻的輻射傳熱通過爐管傳給介質(zhì)。這種爐子主要是靠輻射室內(nèi)的輻射傳熱，小部分靠對流室的對流傳熱，這只占整個傳熱的10％左右。2)對流室的主要作用是：在對流室內(nèi)的高溫?zé)煔庖詫α鞯姆绞綄崃總鹘o爐管內(nèi)的介質(zhì)。在對流室內(nèi)也有很小一部分煙氣及爐墻的輻射傳熱。如果一個加熱爐只有輻射室而無對流室的話，則排煙溫度提高，造成能源浪費，操作費用增加，經(jīng)濟(jì)效益降低，為此，在設(shè)計加熱爐時，通常都要設(shè)置對流室，以便能充分回收煙氣中的熱量。反應(yīng)室中的反應(yīng)是很復(fù)雜的，有很多必須考慮的因素，沉積參數(shù)的變化范圍是很寬的：反應(yīng)室內(nèi)的壓力、晶片的溫度、氣體的流動速率、氣體通過晶片的路程(如圖所示)、氣體的化學(xué)成份、一種氣體相對于另一種氣體的比率、反應(yīng)的中間產(chǎn)品起的作用、以及需要其它反應(yīng)室外的外部能量來源加速或誘發(fā)想得到的反應(yīng)等。額外能量來源諸如等離子體能量，當(dāng)然會產(chǎn)生一整套新變數(shù)，如離子與中性氣流的比率，離子能和晶片上的射頻偏壓等。然后，考慮沉積薄膜中的變數(shù)：如在整個晶片內(nèi)厚度的均勻性和在圖形上的覆蓋特性(后者指跨圖形臺階的覆蓋)，薄膜的化學(xué)配比(化學(xué)成份和分布狀態(tài))，結(jié)晶晶向和缺陷密度等。當(dāng)然，沉積速率也是一個重要的因素，因為它決定著反應(yīng)室的產(chǎn)出量，高的沉積速率常常要和薄膜的量折中考慮。反應(yīng)生成的膜不僅會沉積在晶片上，也會沉積在反應(yīng)室的其他部件上，對反應(yīng)室進(jìn)行清洗的次數(shù)和徹底程度也是很重要的。管式爐結(jié)構(gòu)爐管系統(tǒng)：1、爐管：是爐子的重要部件，有輻射管和對流管。爐管表面積就是加熱爐的傳熱表面積。其金屬耗量占爐子總鋼耗量的百分之四十到五十，投資占百分之六十以上。爐管直徑有102mm、127mm、152mm等幾種，管壁厚度一般為6~12mm，輻射管因其外壁受火焰直接輻射，管內(nèi)受油品較高溫度、壓力和腐蝕聯(lián)合作用，選材時應(yīng)考慮材料的耐熱性、耐高溫強度及耐腐蝕性。2、爐管連接件即爐管彎頭，常見有箱式彎頭和“U”型彎頭。3、爐管支承件，常見的支承件有導(dǎo)向架和拉鉤，以對立管導(dǎo)向或保持穩(wěn)定。水平管則常用托管架，或掛管架支承。對排列密集的爐管則用管板支承。對多路并聯(lián)管為均勻分布各支路流體則用拔制集合管。