管式加熱爐爐管管內(nèi)流速的選擇：對于氣、液混相的爐管內(nèi)，流速的低限是必須流型符合要求，以避免局部過熱，流速的上限是臨界流速（即該狀態(tài)的聲速）。(流速加大時，介質(zhì)停留時間短，減少結(jié)焦分解的危險，還可以增加傳熱系數(shù)；但過大流速，壓力降(與流速平方成正比)會變得大造成不必要的能量損失，甚至不滿足工藝要求。一般.大流速為臨界流速80%-90%)沉積的均勻性與電極和腔室的設計很有關(guān)系。管式PECVD系統(tǒng)由于其石墨舟中間鏤空，因此利用了硅片作為電極的一部分，因此輝光放電的特性就與硅片表面的特性有了一定的關(guān)系，比如硅片表面織構(gòu)化所生成的金子塔的狀態(tài)就對等離子體放電產(chǎn)生影響，而目前硅片的電導率的不同也影響到等離子場的均勻性。另外管式PECVD的氣流是從石英管一端引入，這樣也會造成工藝氣體分布的不均勻。板式PECVD系統(tǒng)使用了襯底板作為電極，而且采用勻氣的Shower系統(tǒng)，但是由于襯底板在長期加熱后會有稍微的翹曲，從而造成平行板電極間距的不一致，也會造成片間不均勻。另外，等離子體直接法在大面積沉積時會造成由于高頻波長所帶來的附加的不均勻性。選擇爐管表面熱強度，該數(shù)值能任意提高，受些因素的限制：爐管表面熱強度越大，完成相同熱任務所需的傳熱面積越小，使用的爐管就越少，爐子體積可以減小，投資可以降低。但如果爐管表面熱強度過高,將引起爐管局部過熱，從而導致爐管結(jié)焦，破裂等不良后果。過?？諝庀禂?shù)大小的影響：過?？諝庀禂?shù)太大，入爐空氣量多，相對降低了爐膛溫度和煙氣的黑度，影響傳熱效果。在加熱爐排煙溫度一定時，過?？諝庀禂?shù)大則排煙量大，煙氣從煙囪帶走的熱量多，增加熱損失，全爐熱效率降低。過多的空氣還會使煙氣中含氧量高，加劇爐管表面的氧化腐蝕，縮短管子的壽命。減小過?？諝庀禂?shù)雖有許多好處，但一個重要前提是必須燃料完全燃燒，否則會加大化學不完全燃燒和機械不完全燃燒的損失，爐子熱效率仍會降低?？傊畱谌剂贤耆紵那疤嵯?，盡量降低加熱爐的過剩空氣系數(shù)。