管式加熱爐爐管管內(nèi)流速的選擇：對(duì)于氣、液混相的爐管內(nèi)，流速的低限是必須流型符合要求，以避免局部過(guò)熱，流速的上限是臨界流速（即該狀態(tài)的聲速）。(流速加大時(shí)，介質(zhì)停留時(shí)間短，減少結(jié)焦分解的危險(xiǎn)，還可以增加傳熱系數(shù)；但過(guò)大流速，壓力降(與流速平方成正比)會(huì)變得大造成不必要的能量損失，甚至不滿足工藝要求。一般.大流速為臨界流速80%-90%)沉積的均勻性與電極和腔室的設(shè)計(jì)很有關(guān)系。管式PECVD系統(tǒng)由于其石墨舟中間鏤空，因此利用了硅片作為電極的一部分，因此輝光放電的特性就與硅片表面的特性有了一定的關(guān)系，比如硅片表面織構(gòu)化所生成的金子塔的狀態(tài)就對(duì)等離子體放電產(chǎn)生影響，而目前硅片的電導(dǎo)率的不同也影響到等離子場(chǎng)的均勻性。另外管式PECVD的氣流是從石英管一端引入，這樣也會(huì)造成工藝氣體分布的不均勻。板式PECVD系統(tǒng)使用了襯底板作為電極，而且采用勻氣的Shower系統(tǒng)，但是由于襯底板在長(zhǎng)期加熱后會(huì)有稍微的翹曲，從而造成平行板電極間距的不一致，也會(huì)造成片間不均勻。另外，等離子體直接法在大面積沉積時(shí)會(huì)造成由于高頻波長(zhǎng)所帶來(lái)的附加的不均勻性。選擇爐管表面熱強(qiáng)度，該數(shù)值能任意提高，受些因素的限制：爐管表面熱強(qiáng)度越大，完成相同熱任務(wù)所需的傳熱面積越小，使用的爐管就越少，爐子體積可以減小，投資可以降低。但如果爐管表面熱強(qiáng)度過(guò)高,將引起爐管局部過(guò)熱，從而導(dǎo)致?tīng)t管結(jié)焦，破裂等不良后果。過(guò)?？諝庀禂?shù)大小的影響：過(guò)?？諝庀禂?shù)太大，入爐空氣量多，相對(duì)降低了爐膛溫度和煙氣的黑度，影響傳熱效果。在加熱爐排煙溫度一定時(shí)，過(guò)?？諝庀禂?shù)大則排煙量大，煙氣從煙囪帶走的熱量多，增加熱損失，全爐熱效率降低。過(guò)多的空氣還會(huì)使煙氣中含氧量高，加劇爐管表面的氧化腐蝕，縮短管子的壽命。減小過(guò)剩空氣系數(shù)雖有許多好處，但一個(gè)重要前提是必須燃料完全燃燒，否則會(huì)加大化學(xué)不完全燃燒和機(jī)械不完全燃燒的損失，爐子熱效率仍會(huì)降低?？傊畱?yīng)在燃料完全燃燒的前提下，盡量降低加熱爐的過(guò)?？諝庀禂?shù)。