產(chǎn)品概述：RK-1400T-S6010LB3三溫區(qū)真空氣氛管式爐以硅碳棒為發(fā)熱元件；雙層風(fēng)冷結(jié)構(gòu)；氧化鋁纖維真空吸附一次成型；高密度硅碳棒真空擠壓成型；剛玉管外徑為60、80mm。三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)獨(dú)立的溫控系統(tǒng)來控制且都為PID30段程序化控溫?？赏ㄟ^調(diào)節(jié)三個(gè)溫區(qū)的控溫程序使?fàn)t管內(nèi)溫場(chǎng)形成一溫度梯度，爐管兩端裝有不銹鋼法蘭，不銹鋼法蘭上安裝有氣嘴、閥門和壓力表，抽真空時(shí)真空度能夠達(dá)到10-3Pa,此系列真空氣氛管式爐可以用CVD或PVD方法來生長(zhǎng)納米材料和制作各種薄膜。主要用途：RK-1400T-S6010LB3三溫區(qū)真空氣氛管式爐是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品.，廣泛用于電子陶瓷產(chǎn)品的預(yù)燒、燒結(jié)、鍍膜、高溫?zé)峤獾蜏爻练e（CVD）工藝等。選用燃燒器的一般原則是？答：考慮到管式爐的燃料來源，工藝要求和爐型特點(diǎn)，選用燃燒器時(shí)注意下列各點(diǎn)：1)燃燒器應(yīng)與燃料特點(diǎn)相適應(yīng)；2)燃燒器應(yīng)滿足管式爐的工藝需求；3)燃燒器應(yīng)與爐型配合；4)燃燒器應(yīng)滿足節(jié)能和環(huán)保要求。是吹灰器？吹灰器的種類有些？答：吹灰器是利用噴射蒸汽、空氣或產(chǎn)生超聲波的方法去清掃爐管表面灰塵的一種工具。吹灰器的種類有蒸汽吹灰器、聲波吹灰器、激波吹灰器等。沉積的均勻性與電極和腔室的設(shè)計(jì)很有關(guān)系。管式PECVD系統(tǒng)由于其石墨舟中間鏤空，因此利用了硅片作為電極的一部分，因此輝光放電的特性就與硅片表面的特性有了一定的關(guān)系，比如硅片表面織構(gòu)化所生成的金子塔的狀態(tài)就對(duì)等離子體放電產(chǎn)生影響，而目前硅片的電導(dǎo)率的不同也影響到等離子場(chǎng)的均勻性。另外管式PECVD的氣流是從石英管一端引入，這樣也會(huì)造成工藝氣體分布的不均勻。板式PECVD系統(tǒng)使用了襯底板作為電極，而且采用勻氣的Shower系統(tǒng)，但是由于襯底板在長(zhǎng)期加熱后會(huì)有稍微的翹曲，從而造成平行板電極間距的不一致，也會(huì)造成片間不均勻。另外，等離子體直接法在大面積沉積時(shí)會(huì)造成由于高頻波長(zhǎng)所帶來的附加的不均勻性。