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管式加熱爐是分類的？答：按功能可分為：加熱型和加熱—反應(yīng)型兩大類。加熱型管式爐：常壓爐、減壓爐、各種分餾塔進(jìn)料加熱爐、塔底重沸爐、焦化爐、重整爐和加氫爐等各種反應(yīng)器（塔）進(jìn)料加熱爐；加熱—反應(yīng)型管式爐：制氫爐、乙烯裂解爐等。按主要傳熱方式分為：對(duì)流爐、輻射爐、輻射-對(duì)流型爐和雙面輻射爐。按爐型可分為：圓筒爐、立式爐和大型箱式爐三大類。方法的優(yōu)缺點(diǎn)比較各種方法都有其有缺點(diǎn)：從大的方面講，直接PECVD法對(duì)樣品表面有損傷，會(huì)增加表面少子的復(fù)合，但是也正是由于其對(duì)表面的轟擊作用，可以去除表面的一些自然氧化層，使得表面的雜質(zhì)原子得到抑制，另外直接法可以使得氫原子或氫離子更深入地進(jìn)入到多晶硅晶界中，使得晶界鈍化更充分。使用不同頻率的PECVD系統(tǒng)，也各有一定的優(yōu)缺點(diǎn)：（1）頻率越高均勻面積越小，越難于達(dá)到大面積均勻性。（2）頻率越低對(duì)硅片表面的損傷越嚴(yán)重。（3）頻率越低離子進(jìn)入硅片越深，越有利于多晶硅晶界的鈍化。管式加熱爐的特征：１）被加熱物料在管內(nèi)流動(dòng)，僅限于加熱流體；而且這些流體都是易燃易爆的烴類物質(zhì)，危險(xiǎn)性大，操作條件很苛刻；２）加熱方式為直接受火式；３）只使用液體或氣體燃料；４）長(zhǎng)周期連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，不簡(jiǎn)短操作。對(duì)管式加熱爐的基本要求：１）把原料加熱到規(guī)定溫度。２）沒(méi)有局部過(guò)熱或死角的現(xiàn)象，防止原料油在爐管內(nèi)結(jié)焦，以延長(zhǎng)管式爐的運(yùn)轉(zhuǎn)周期。３）在完成任務(wù)的前提下，盡量節(jié)省傳熱面積，降低金屬消耗量。４）提高爐子傳熱效率，減少燃料消耗量。５）造價(jià)低和壽命長(zhǎng)。
