產(chǎn)品用途本系列設(shè)備適用于科研單位、高等院校、工礦企業(yè)理想的實(shí)驗(yàn)和生產(chǎn)設(shè)備主要用于高溫精密退火、微晶化、陶瓷釉料制備、模具退火、粉末冶金、塑膠粉沫實(shí)驗(yàn)、納米材料的燒結(jié)、金屬零件淬火及一切做高溫工藝要求的熱處理產(chǎn)品特點(diǎn)殼體采用冷軋鋼板雙層結(jié)構(gòu)獨(dú)特設(shè)計(jì)，殼體顏色漆經(jīng)過(guò)高溫烘烤而成，經(jīng)久耐用。配有風(fēng)冷系統(tǒng)，該爐具有溫場(chǎng)均衡、表面溫度低、升降溫度速率快等優(yōu)點(diǎn)。真空系統(tǒng)采用特種設(shè)計(jì)，具有操作方便、真空度高、真空泄露小，（極限真空度：10-5pa）密封系統(tǒng)采用不銹鋼法蘭與爐管及耐高溫O型硅橡膠密封，氣體經(jīng)過(guò)流量計(jì)后由針閥開(kāi)關(guān)控制，閥控配有進(jìn)氣閥、排氣閥、抽真空閥，可充氮?dú)?、氬氣等一切惰性氣體爐膛采用復(fù)合氧化鋁纖維材料經(jīng)獨(dú)特工藝構(gòu)筑，比傳統(tǒng)電爐節(jié)能30%控制系統(tǒng)采用微電腦人工智能調(diào)節(jié)技術(shù)，具有50段程序編程，并可編制各種升溫、恒溫、降溫程序，控溫精度高晶體模塊化可控硅控制、移相觸發(fā)；采用加熱元件控制面板：全部采用數(shù)字化控制具有（超溫、超壓、超流、斷偶、斷電等保護(hù)功能）（爐管、加熱區(qū)可根據(jù)客戶(hù)要求定制！）目前，在中國(guó)微波法PECVD系統(tǒng)占據(jù)市場(chǎng)的主流，而管式PECVD系統(tǒng)也占據(jù)不少份額，而島津的板式系統(tǒng)只有5~6條生產(chǎn)線(xiàn)在使用。直流法PECVD系統(tǒng)還沒(méi)有進(jìn)入中國(guó)市場(chǎng)。除了上述幾種模式的PECVD系統(tǒng)外，美國(guó)的AppliedMaterial公司還開(kāi)發(fā)了磁控濺射PECVD系統(tǒng)，該系統(tǒng)使用磁控濺射源轟擊硅靶，在氨氣的氣氛中反應(yīng)濺射，形成SiNx分子沉積到樣品表面。這種技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是不使用易爆的硅烷氣，安全性提高很多，另外沉積速率很高。如果按照PECVD系統(tǒng)所使用的頻率范圍，又可將其分成以下幾類(lèi)：■0Hz：直流間接法——OTB公司■40KHz：Centrotherm公司管式直接法PECVD和AppliedMaterial公司的磁控濺射系統(tǒng)■250kHz：島津公司的板式直接法系統(tǒng)■440kHz：Semco公司的板式直接法■460kHz：Centrotherm公司管式直接法■13.6MHz：Semco公司和MVSystem公司的板式直接法系統(tǒng)■2450MHz：Roth