真空泵是用各種辦法在某一關(guān)閉空間中發(fā)生、改進和維持真空的設(shè)備。真空泵能夠界說為：運用機械、物理、化學或物理化學的辦法對被抽容器進行抽氣而取得真空的器件或設(shè)備。跟著真空運用的開展，真空泵的品種已開展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。按真空泵的作業(yè)原理，真空泵基本上能夠分為兩品種型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。跟著真空運用技術(shù)在出產(chǎn)和科學研究領(lǐng)域中對其運用壓強規(guī)模的需求越來越寬，大多需求由幾種真空泵構(gòu)成真空抽氣體系一起抽氣后才能滿意出產(chǎn)和科學研究過程的需求，因為真空運用部分所涉及的作業(yè)壓力的規(guī)模很寬，因而任何一品種型的真空泵都不可能徹底適用于一切的作業(yè)壓力規(guī)模，只能依據(jù)不一樣的作業(yè)壓力規(guī)模和不一樣的作業(yè)需求，運用不一樣類型的真空泵。為了運用方便和各種真空技術(shù)過程的需求，有時將各種真空泵按其功能需求組合起來，以機組型式運用。各種真空泵的作業(yè)原理往復(fù)式真空泵（簡稱往復(fù)泵）又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設(shè)備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點是結(jié)構(gòu)復(fù)雜，體積較大，運轉(zhuǎn)時振動較大等。其在很多場合可由液環(huán)式真空泵所取代往復(fù)泵的結(jié)構(gòu)和工作原理如圖所示，主要部件有氣缸1及在其中做往復(fù)直線運動的活塞2，活塞的驅(qū)動是用曲柄連桿機構(gòu)3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉(zhuǎn)時，在電動機的驅(qū)動下，通過曲柄連桿機構(gòu)的作用，使氣缸內(nèi)的活塞做往復(fù)運動。當活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內(nèi)氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經(jīng)過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右位置時，氣缸左腔內(nèi)就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關(guān)閉。氣缸內(nèi)的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內(nèi)氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當活塞再左向右運動時，又重復(fù)前一循環(huán)，如此反復(fù)下去，被抽容器內(nèi)終達到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設(shè)有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來