真空泵是用各種辦法在某一關閉空間中發(fā)生、改進和維持真空的設備。真空泵能夠界說為：運用機械、物理、化學或物理化學的辦法對被抽容器進行抽氣而取得真空的器件或設備。跟著真空運用的開展，真空泵的品種已開展了很多種，其抽速從每秒零點幾升到每秒幾十萬、數(shù)百萬升。按真空泵的作業(yè)原理，真空泵基本上能夠分為兩品種型，即氣體傳輸泵和氣體捕集泵。跟著真空運用技術在出產和科學研究領域中對其運用壓強規(guī)模的需求越來越寬，大多需求由幾種真空泵構成真空抽氣體系一起抽氣后才能滿意出產和科學研究過程的需求，因為真空運用部分所涉及的作業(yè)壓力的規(guī)模很寬，因而任何一品種型的真空泵都不可能徹底適用于一切的作業(yè)壓力規(guī)模，只能依據不一樣的作業(yè)壓力規(guī)模和不一樣的作業(yè)需求，運用不一樣類型的真空泵。為了運用方便和各種真空技術過程的需求，有時將各種真空泵按其功能需求組合起來，以機組型式運用。各種真空泵的作業(yè)原理往復式真空泵（簡稱往復泵）又名活塞式真空泵，屬于低真空獲得設備之一。它與旋片式真空泵相比較，它能被制成大抽速的泵；與水環(huán)式真空泵相比，效率稍高。這類泵的主要缺點是結構復雜，體積較大，運轉時振動較大等。其在很多場合可由液環(huán)式真空泵所取代往復泵的結構和工作原理如圖所示，主要部件有氣缸1及在其中做往復直線運動的活塞2，活塞的驅動是用曲柄連桿機構3（包括十字頭）來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右位置時，氣缸左腔內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨站活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓力達到或稍大于一個大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環(huán)。當活塞再左向右運動時，又重復前一循環(huán)，如此反復下去，被抽容器內終達到某一穩(wěn)定的平衡壓力。為提高抽氣效率，一般在氣缸的兩端均設有吸氣閥和排氣閥，然后用管路將氣缸兩端的吸氣口和排氣口并聯(lián)起來