化學(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用為廣泛的用來沉積多種材料的技術(shù)，包括大范圍的絕緣材料，大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。從理論上來說，它是很簡單的：兩種或兩種以上的氣態(tài)原材料導(dǎo)入到一個反應(yīng)室內(nèi)，然后他們相互之間發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，形成一種新的材料，沉積到晶片表面上。淀積氮化硅膜(Si3N4)就是一個很好的例子，它是由硅烷和氮反應(yīng)形成的。馬弗爐的使用及注意事項(xiàng)1.新爐的耐火材料里含有水分，另外為使加熱元件生成氧化層，在開始使用前，必須先在低溫下烘烤數(shù)小時并逐漸升溫至900℃，且保持5小時以上，以防爐膛受潮后因溫度的急劇變化而破裂。2.在馬弗爐加熱時，爐外套也會變熱，應(yīng)使?fàn)t子遠(yuǎn)離易燃物，并保持爐外易散熱。3.加熱元件的工作壽命取決于其表面的氧化層，破壞氧化層會縮短加熱元件的壽命，而每次停機(jī)都會對氧化層有所損害，因此開機(jī)后應(yīng)避免停機(jī)。4.使用時爐溫不得超過.高溫度，以免燒毀電熱元件，并禁止向爐膛內(nèi)灌注各種液體及熔解的金屬。5.在做灰化試驗(yàn)時，一定要先將樣品在電爐上充分碳化后，再放入灰化爐中，以防碳的積累損壞加熱元件。6.幾次循環(huán)加熱后，爐子的絕緣材料可能出現(xiàn)裂紋，這些裂紋是熱膨脹引起的，對爐子的質(zhì)量沒有影響。7.馬弗爐為實(shí)驗(yàn)用品，不得移作它用，樣品一定要用潔凈的坩堝盛放，不得污染爐膛。8.電阻爐使用時，要經(jīng)常照看，防止自控失靈造成事故，晚間無人值班時，切勿使用電阻爐。9.馬弗爐使用完畢，應(yīng)切斷電源，使其自然降溫。不應(yīng)立即打開爐門，以免爐膛突然受冷碎裂，如急用，可先開一條小縫，讓其降溫加快，待降溫度降至200℃以下時，方可開爐門。10.使用馬弗爐時，需注意安全，謹(jǐn)防燙傷。管式加熱爐主要由幾部分組成？答：管式加熱爐主要包括爐管、爐管連接件及支承件、鋼結(jié)構(gòu)、爐襯、余熱回收系統(tǒng)、燃燒器、吹灰器、煙囪、煙囪擋板、各種蝶閥、門類（看火門、人孔門、防爆門、清掃孔門和裝卸孔門等）和儀表接管（熱電偶套管、測壓管、滅火蒸汽管、氧分析儀接管和煙氣采樣口接管等）。管式加熱爐主要由幾部分組成？答：管式加熱爐主要包括爐管、爐管連接件及支承件、鋼結(jié)構(gòu)、爐襯、余熱回收系統(tǒng)、燃燒器、吹灰器、煙囪、煙囪擋板、各種蝶閥、門類（看火門、人孔門、防爆門、清掃孔門和裝卸孔門等）和儀表接管（熱電偶套管、測壓管、滅火蒸汽管、氧分析儀接管和煙氣采樣口接管等）。