對許多金屬和金屬合金一個(gè)有趣的爭論就是，他們是通過物理氣相沉積(PVD)還是通過化學(xué)氣相沉積(CVD)能得到.好的沉積效果。盡管CVD比PVD有更好的臺(tái)階覆蓋特性，但目前諸如銅的子晶層和鉭氮擴(kuò)散層薄膜都是通過PVD來沉積的，因?yàn)楝F(xiàn)有的大量裝置都是基于PVD系統(tǒng)的，工程技術(shù)人員對PVD方法也有較高的熟練程度。一些人建議，既然臺(tái)階覆蓋特性越來越重要(尤其是在通孔邊墻覆蓋)，CVD方法將成為必不可少的技術(shù)。相似的爭論也存在于產(chǎn)生低k值介質(zhì)材料方面：是使用CVD方法好還是采用旋涂工藝好？在化學(xué)氣相沉積中，決定晶圓間薄膜均勻性的重要參數(shù)之一是晶圓間的氣體是流動(dòng)的。上圖所示是Novellus概念下ThreeALTUS系統(tǒng)中，一個(gè)晶圓及其基座上的SiH4集中度和鎢沉積率的典型路徑圖。管式加熱爐的傳熱性能主要技術(shù)指標(biāo)（P3）：熱負(fù)荷、爐膛熱強(qiáng)度、爐管表面熱強(qiáng)度、加熱爐的熱效率、爐膛溫度、管內(nèi)流速及壓力降。選擇爐管表面熱強(qiáng)度，該數(shù)值能任意提高，受些因素的限制(P3)：爐管表面熱強(qiáng)度越大，完成相同熱任務(wù)所需的傳熱面積越小，使用的爐管就越少，爐子體積可以減小，投資可以降低。但如果爐管表面熱強(qiáng)度過高,將引起爐管局部過熱，從而導(dǎo)致爐管結(jié)焦，破裂等不良后果。馬弗爐具體作用：(1)馬弗爐可以熱加工、水泥、建材行業(yè),進(jìn)行小型工件的熱加工或處理；(2)標(biāo)準(zhǔn)節(jié)能型周期作業(yè)電爐，主要供合金鋼制品、各種金屬機(jī)件正火、淬火、退火等熱處理之用，或金剛石等切割刀片進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)用途(3)碳鋼、合金鋼、高錳鋼、高鉻鋼等工件淬火、正火、退火、調(diào)質(zhì)加熱用。(4)各種小型零件、彈簧、模具熱處理。高溫電爐通常溫度可達(dá)到1800度，經(jīng)過特殊處理的爐子可達(dá)到1800度，(5)醫(yī)藥行業(yè):用于藥品的檢驗(yàn)、醫(yī)學(xué)樣品的預(yù)處理等；(6)分析化學(xué)行業(yè):作為水質(zhì)分析、環(huán)境分析等領(lǐng)域的樣品處理.也可以用來進(jìn)行石油及其分析；(7)煤質(zhì)分析:用于測定水分、灰份、揮發(fā)份、灰熔點(diǎn)分析、灰成分分析、元素分析.也可以作為通用灰化爐使用；