是頂燒爐？答：制氫轉(zhuǎn)化爐是制氫裝置的關(guān)鍵設(shè)備，大多采用頂燒爐，其輻射室為箱式結(jié)構(gòu)，燃燒器布置在爐頂，一排燃燒器，一排爐管順序布置。制氫轉(zhuǎn)化爐的操作條件是苛刻的，轉(zhuǎn)化管系統(tǒng)都是高鉻鎳合金材料，因此采用單排管雙面輻射型爐，可以避免局部過熱，使?fàn)t管周向和軸向溫度分布均勻，提高爐管的利用率。實(shí)際上，制氫轉(zhuǎn)化爐是一個多管并流的外加熱式反應(yīng)器，爐管內(nèi)裝有催化劑，管內(nèi)介質(zhì)一邊吸熱，一邊進(jìn)行著復(fù)雜的化學(xué)反應(yīng)。產(chǎn)品名稱：單管滑動式快速退火爐產(chǎn)品型號：RK-1200T-S6015LK1-H爐管尺寸：Φ60mmX1500mm溫區(qū)長度：440mm(更多規(guī)格可按照客戶要求定制)恒溫區(qū)長：260mm工作溫度：1100℃溫控系統(tǒng)：30段PID微電腦可編程自動控制（用戶可選配液晶觸摸屏顯示）溫控精度：±1℃恒溫精度：±1℃溫控保護(hù)：具有超溫和斷偶保護(hù)功能加熱元件：合金加熱絲加熱速率：0~20℃/分爐膛材料：采用日本爐膛材料，不掉粉、材料保溫性能好、反射率高、溫場均衡，抗熱漲冷縮能力強(qiáng)滑軌尺寸：鍍Cr厚鋼板做的雙向滑軌滑動長度：1200mm法蘭接頭：標(biāo)配配有兩個不銹鋼真空法蘭，已安裝機(jī)械壓力表和不銹鋼截止閥。密封系統(tǒng)：該爐爐管與法蘭之間采用硅膠O型圈擠壓密封、撤卸方便、可重復(fù)撤卸，氣密性好、可12小時壓力表指針不偏轉(zhuǎn)。爐管：可選氣煉石英爐管、剛玉爐管凈重：80KG提供相關(guān)配件:氣煉石英爐管、真空法蘭、高溫手套、坩堝鉤、熱電偶、剛玉坩堝、爐塞、說明是等其他配件用戶可選配電氣認(rèn)證:CE認(rèn)證對許多金屬和金屬合金一個有趣的爭論就是，他們是通過物理氣相沉積(PVD)還是通過化學(xué)氣相沉積(CVD)能得到.好的沉積效果。盡管CVD比PVD有更好的臺階覆蓋特性，但目前諸如銅的子晶層和鉭氮擴(kuò)散層薄膜都是通過PVD來沉積的，因?yàn)楝F(xiàn)有的大量裝置都是基于PVD系統(tǒng)的，工程技術(shù)人員對PVD方法也有較高的熟練程度。一些人建議，既然臺階覆蓋特性越來越重要(尤其是在通孔邊墻覆蓋)，CVD方法將成為必不可少的技術(shù)。相似的爭論也存在于產(chǎn)生低k值介質(zhì)材料方面：是使用CVD方法好還是采用旋涂工藝好？在化學(xué)氣相沉積中，決定晶圓間薄膜均勻性的重要參數(shù)之一是晶圓間的氣體是流動的。上圖所示是Novellus概念下ThreeALTUS系統(tǒng)中，一個晶圓及其基座上的SiH4集中度和鎢沉積率的典型路徑圖。