云熙機(jī)電科技廊坊有限公司
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真空直線(xiàn)平臺(tái): AML的超高真空直線(xiàn)絲桿平臺(tái)提供長(zhǎng)行程,具有小高度可以負(fù)荷達(dá)10kg,他們有廣泛間隔的“五輥”滾筒導(dǎo)軌在簡(jiǎn)單的復(fù)合機(jī)制中是有用的扭轉(zhuǎn)載荷小。他們是制造使用耐真空的特殊材料,動(dòng)力使用AML的耐高真空步進(jìn)電機(jī)步進(jìn)電機(jī)。直線(xiàn)運(yùn)動(dòng)由金剛石研磨的并校正的絲桿和螺母配合,精密研磨以良好的精度并將預(yù)緊絲杠位置穩(wěn)定性消除齒隙。 真空平臺(tái)指標(biāo) 行程25-85mm , 每步的分辨率可以達(dá)到1u,零間隙,高剛性結(jié)構(gòu),負(fù)載可以達(dá)到50kg??梢灾苯哟钶dXYZ運(yùn)動(dòng)平臺(tái)。真空度范圍是:10^10mbar以?xún)?nèi)。使用交叉滾珠導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng),使運(yùn)動(dòng)精度更高。