云熙機電科技廊坊有限公司
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直線電機模組 XVSST系列運動平臺是星微科技持續(xù)在高級材料、特有加工技術(shù)、精密結(jié)構(gòu)分析和設計上不斷投入的結(jié)果,我們研發(fā)的目標是為今天要求嚴格的半導體工業(yè)設備提供高精度和高產(chǎn)出率的運動系統(tǒng),同時是我們有著在迎接未來的挑戰(zhàn)中保持領(lǐng)先的技術(shù)能力SST氣浮平臺能滿足在電子及半導體加工、檢測設備的具有挑戰(zhàn)性的要求。 產(chǎn)品技術(shù)特點 傳統(tǒng)的平面式XY雙驅(qū)氣浮平臺都采用雙氣浮導向?qū)к壍男问?,雙氣浮導軌結(jié)構(gòu)在安裝調(diào)試時對導軌本身的精度以及導軌之間的平行度要求極高,并且該結(jié)構(gòu)形式對環(huán)境恒溫要求也很高;SST系列運動平臺為了解決這些問題采用了開放式T型氣浮結(jié)構(gòu)設計,T型結(jié)構(gòu)具有機械安裝調(diào)試簡單,對環(huán)境的恒溫要求低,便于集成到客戶產(chǎn)品當中。 聯(lián)系方式:郭工