開封機(jī)在沒有酸的情況下去除電路
能夠產(chǎn)生復(fù)雜的刻蝕開口形狀
不破壞Al, Cu, Au而暴露內(nèi)部結(jié)構(gòu)
有利于隨后用酸的清除操作，能夠用于低溫、低腐蝕條件
可選組件能夠進(jìn)行完全開封能夠生產(chǎn)各種復(fù)雜形狀的型腔
SESAME 1000激光刻蝕系統(tǒng)專門設(shè)計(jì)用于有效的進(jìn)行IC器件的開封，既可以用于單個(gè)器件也可以用于多個(gè)器件。
開封機(jī)系統(tǒng)心臟為一個(gè)Nd:YAG 1064nm二極管抽運(yùn)激光頭，它被安裝在有完全激光屏蔽保護(hù)的腔體里，符合VBG 93、DIN EN和CE標(biāo)準(zhǔn)。
集成的光學(xué)觀察系統(tǒng)可以穩(wěn)定的監(jiān)測(cè)樣品。也可以將X光或超聲波圖像疊加在SESAME’s的器件時(shí)時(shí)圖像上，可以為成功的開封提供額外的數(shù)據(jù)。
SESAME 1000’s視覺失效分析軟件包含畫圖工具，可以在器件圖片上繪圖，用于定位要去除的材料。實(shí)際被去除的材料總量可以通過攝像機(jī)的聚焦-景深技術(shù)或額外的機(jī)械儀表進(jìn)行測(cè)量。
在進(jìn)行激光刻蝕程序之前，材料會(huì)被一個(gè)紅色的激光掃描。系統(tǒng)的軟件控制所有的程序參數(shù)，如功率、頻率、掃描速度、聚焦距離等。所有程序參數(shù)都能夠以特定材料和產(chǎn)品名存儲(chǔ)，以便容易的調(diào)用。
激光刻蝕之后，芯片表面能夠用濕法刻蝕在低溫下暴露出來，可以手動(dòng)（滴上適當(dāng)?shù)乃嵋海┗蜃詣?dòng)（用自動(dòng)酸開封機(jī)）進(jìn)行，避免機(jī)械或電性變化。
資料來源：http://www.wfqiejiaoji.com
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