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Pura Plus在線微量濕度異動變送器的產品介紹:
新型的 Pura Plus 是密析爾儀表針對晶圓工業(yè)對于設備尺寸和指標的新需求變化而特殊設計的。Pura Plus 是一款在線微量濕度異動變送器，多路安裝在半導體工廠內通向生產線的氣體供應末端，用來監(jiān)測超惰性氣體的應用。工廠內氣體系統(tǒng)分布復雜，涉及到很多分支、節(jié)點和使用點。因此在常規(guī)的濕度監(jiān)測點后，會由于微量的泄漏、低效的系統(tǒng)設計、元件故障或過程出錯等等原因導致濕氣滲入，影響下游使用。而安裝在分布系統(tǒng)中的 Pura Plus 能夠提供快速的響應指示，在 20 ppb 濕氣級別下
1 ppb 的異動的響應時間小于1 分鐘。
亮點
對 ppb 級別濕度異動的快速響應
低濕 ppb 級別的靈敏度 (<1 ppb)
多點測量安裝的全新概念
維護要求低
信號燈式的狀態(tài)指示
可設置警告和報警點
Modbus 網絡兼容
遠程控制界面的多通道軟件
(UHP) 超氣體的管線檢測
技術指標:
響應速度 <1 分鐘 20 ppb 濕氣變動1 ppb 的響應時間
濕度量程 1 ppb to 20,000 ppm
壓力范圍 0 to 10 bar
耐壓等級 300 bar
泄漏測試 0-9 mbar l/s
工作流量范圍 1 ~ 10 l/min
工作溫度 5 ~ 40°C
存儲溫度 30 ~ 70°C
電源 20 ~ 28 V DC
功耗 5 W 較大
外部保險絲等級 500 mA 快熔型
數據輸出 Modbus ASCII 兩線 RS485
警告和報警輸出 2 路
較大電壓 40 V DC
較大電流 100 mA
氣體接觸的材質
外殼材質 不銹鋼 AISI 316L, 內表面電拋光 <10 Ra
傳感器結構 氧化鋁電解質, 上層鍍金保護, 下層鋁層
內部容積 4.4cm3
重量 450g
氣路接口 1/4" m VCR
電氣接口 9 - 針 D - 型 m 接口
電磁兼容性 EN50081-2 和 EN50082-2
