UV 解膠機(jī)
軟件控制UV照射機(jī)UPA型,以PLC精密控制單片晶圓的UV膠膜照射過(guò)程,并隨時(shí)顯示實(shí)際執(zhí)行的各項(xiàng)參數(shù)。
直徑達(dá)220㎜的照射窗口,可處理8”(200㎜)的標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格晶圓。光源可更換更大面積的照射器。
特點(diǎn):
※ 桌上型設(shè)計(jì)-安裝簡(jiǎn)單。
※ 多功能控制面板-操作方便、穩(wěn)定度高、維修容易,并可完成遠(yuǎn)端控制的需求,依需求修改控制模式,更改操作螢?zāi)恢中偷取?
※ 全程監(jiān)視系統(tǒng)-UV 燈管狀態(tài)
1.采用UV冷光源,代替了傳統(tǒng)的高壓汞燈,經(jīng)過(guò)試驗(yàn)認(rèn)證,使用壽命比普通汞燈壽命長(zhǎng)數(shù)十倍以上,安全性高,熱量小,功耗低
2.一鍵式全自動(dòng)根據(jù)設(shè)定完成所有操作,在達(dá)到照射時(shí)間后會(huì)自動(dòng)關(guān)閉,不需要啟動(dòng)和等待時(shí)間。
3.采用觸摸屏作為人機(jī)界面,集成操作和錯(cuò)誤,報(bào)警顯示
4.使用于3inch~12inch的wafer,F(xiàn)rame可以定制
功能特點(diǎn):適用于半導(dǎo)體晶圓切割后的UV解膠工序
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