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測試內容:
（1）提供樣品表面和內部成分分析，可采用氬離子濺射處理，同時可進行剖面AES分析；
（2）固體樣品可提供<50oC角度側傾掃，提供表面 2-10nm精細元素分布分析；
（3）可進行微區(qū)元素分析；
（4）儀器精度：0.05eV。 應用范圍： 電子能譜儀主要用于表面的成分分析和表面元素化學狀態(tài)的分析，
主要使用范圍如下：
（1）半導體大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路的研究;
（2）冶金工業(yè)：尋求各種表面處理技術，以獲得材料的特殊性能，如耐磨性、高硬度，耐腐蝕性等；
（3）固體化學；研究固體的表面吸附，表面反應和表面化學狀態(tài)；
（4）材料科學：研究材料表面的成分和結構，探索表面性能。
深圳八六三計劃材料表面技術研發(fā)中心
深圳市材料表面分析檢測中心
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