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電子掃描顯微鏡 - SEM
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表面科學儀器
渦輪分子前級泵
TV 制造/燈泡制造
排量 (50Hz) 20.5 m3h-1/
12.1 ft3min-1
排量 (60Hz) 25.0 m3h-1/
14.7 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602) 50 Hz 17.0 m3h-1/
10 ft3min-1
速度 (Pneurop 6602) 60Hz 20.4 m3h-1/
12.1 ft3min-1
極限真空（總壓力）
不帶氣體吹掃 1 x 10-3 mbar/
7.4 x 10-4 Torr
帶氣體吹掃 1.5 x 10-1 mbar/
1.1 x 10-2 Torr
帶有 Fomblin® 1 x 10-2 mbar/
7.5 x 10-3 Torr
進氣口連接 NW25
出口連接 可從 3/4 in BSP 塞孔卸下的 15 mm 外徑噴嘴
出口處的最大允許壓力 0.5 bar 表壓/
7 psig
最大進氣口壓力 20 mbar/
對于水蒸汽 15 Torr
最大水蒸汽抽速 0.3 kg h-1
工作溫度范圍 13-40°C
標稱旋轉(zhuǎn)速度 50/60 Hz 1440/1720 rpm
電源連接器（1 相*） IEC EN60320 C19
電機功率 50 Hz 0.55 kW
電機功率 60 Hz 0.75 kW
重量 39 kg/86 lbs
50Hz 時的噪音 57 dB(A)
油容量 - 最大 1.05 升
油容量 - 最小 0.75 升
推薦使用的油（提供） Ultragrade 19
