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ASM142 氦質(zhì)譜檢漏儀是法國ALCATEL 公司新推出的用來檢測電子元器件的多功能氦質(zhì)譜檢漏儀
器。
可以對具有內(nèi)腔的微電子或半導(dǎo)體器件封裝的氣密性進(jìn)行細(xì)檢漏。
該檢測方法使用的示蹤氣體選擇了氦氣，氦氣具有質(zhì)量數(shù)小、重量輕并且有滲透能力強(qiáng)的優(yōu)點，達(dá)
到了細(xì)檢漏的目的。
符合美國真空標(biāo)準(zhǔn)AVS2.1 以及國際標(biāo)準(zhǔn)ISO3530 的標(biāo)準(zhǔn)。內(nèi)置式標(biāo)準(zhǔn)漏孔，帶自動溫度補(bǔ)償
系統(tǒng)。開機(jī)5 分鐘后完成全部準(zhǔn)備工作，可以開檢。數(shù)顯工作界面；數(shù)字顯示漏率，帶音頻報警。
所有工作參數(shù)可以通過菜單設(shè)定和修改?？梢栽O(shè)置報廢點。質(zhì)譜室自動保護(hù)：防止大氣突然沖入。
技術(shù)規(guī)格:
靈敏度： 5.0×10-12 mbar.l/s
漏率顯示范圍： 2 ×10-12 ~1 ×10-1 mbar.l/s (He)
達(dá)到檢漏的時間（空盒時）： 小于30 秒
發(fā)射電流顯示： 0.2—2mA
檢漏口對氦氣的抽速： 1.3 升/秒
啟動時間： 小于5 分鐘
接口尺寸: DN 25 KF
外觀尺寸： 510×343×428mm
重量： 56Kg
電源：
220V 50Hz 單相
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法國ALCATEL公司素來以生產(chǎn)精密的工業(yè)產(chǎn)品而，該公司生產(chǎn)的泵主要的服務(wù)行業(yè)為煙草，食品飲料，石油化工，橡膠加工等涉及自動化生產(chǎn)線的行業(yè)。
