1、 潔凈車間—加工的精密化
現(xiàn)代產(chǎn)品的加工精度已經(jīng)進入亞微米量級,而且正在向更小的量級發(fā)展:利用分子束外延技術(shù)已可按一個一個原子層來生長單晶材料;利用離子束刻蝕技術(shù)也可以對半導(dǎo)體材料進行一個一個原子的刻蝕剝離等等。因此,科學(xué)界提出了在本世紀末可能進行原子級加工的設(shè)想,即加工的幾何圖形寬度可以小到幾個原子的線度。
2、 潔凈車間—產(chǎn)品的微型化
原來體積為幾千立方厘米的電子裝配件,現(xiàn)在縮減到零點幾立方厘米,其中:集成電鍍的圖形距已小到不足1um,一個電子元件的二氧化硅保護膜厚0.5um,光致抗蝕劑厚度只有0.2um,而各層甚至只有0.03um。
3、 潔凈車間—產(chǎn)品的度(或量)
由過去認為很的“化學(xué)”進入今天“電子”、“超”時代的藥品、試劑,以及各種超材料,都是在度基礎(chǔ)上才能使原料充分發(fā)揮其固有特性或者呈現(xiàn)出新的特性。
4、潔凈車間—產(chǎn)品的高性
高性對于電子化、自動化時代的產(chǎn)品,對于確保人的安全的無菌操作,對于分子生物學(xué)的遺傳工程都有特殊重要的意義。