濺射靶材是一種通過(guò)濺射法生成薄膜的材料,由金屬和陶瓷加工制造而成。
我們通過(guò)熔化技術(shù),燒結(jié)技術(shù),合成技術(shù)以及加工技術(shù)進(jìn)行技術(shù)融合,可以對(duì)各種素材,度以及形狀的產(chǎn)品進(jìn)行處理。
度金屬
Al, Co, Cu, Fe, Mg, Mn, Sn
高熔點(diǎn)金屬合金
Cr,Mo,Nb,Ta,Ti,V,W系列的合金
非磁性合金
Al, Bi, Cu, Mg, Sn, Zn系列的合金/ Bi2Te3, Mg2Si
磁性合金
Co, Fe, Ni系列的合金/ Co-Fe-B, Co-Pt, Fe-Pt
赫斯勒合金
Co, Fe, Ni基赫斯勒合金
Mn系列的合金
Mn-Al, Mn-Bi, Mn-Ga, Mn-Ir, Mn-Si
貴金屬合金
Au,Ag,Pt,Pd,Ru系列的合金
氧化物
Al2O3,MgO,SiO2,TiO2,ZnO,La2O3
ITO,PZT,STO,LiCoO2,Li4Ti5O12,Li3PO4
碳化物
SiC,B4C,WC
其他化合物
氮化物,氟化物,磷化物,硫化物,硒化物
金屬相
Co-Cr-Pt, Fe, Fe-Ni, Fe-Pt等各種金屬?合金
非金屬相
Al2O3, MgO, SiO2等各種氧化物?氮化物