Melec電源維修Melec脈沖發(fā)生器維修Melec脈沖電源維修高壓發(fā)生器
Melec的電源脈沖發(fā)生器可實(shí)現(xiàn)多種用途,憑借現(xiàn)有的直流電源配上Melec的電源脈沖發(fā)生器即可實(shí)現(xiàn)單極脈沖、雙極脈沖、偏壓以及HiPIMS高能脈沖電源等功能。
NiCr靶使用直流及HiPIMS晶體結(jié)構(gòu)對(duì)比
以HiPIMS高能脈沖為例,相較于直流電源,離化率更高,沉積的薄膜附著力更好,從上圖可以看出,直流電源沉積出的為柱狀結(jié)構(gòu),而HiPIMS電源沉積出的為玻璃狀結(jié)構(gòu),膜層更致密。
Melec的電源脈沖發(fā)生器主要分為研發(fā)領(lǐng)域使用的SIPP2000系列以及工業(yè)領(lǐng)域使用的SPIK系列,其中SIPP2000系列分為單極和雙極兩種,SPIK系列分為SPIK1000A、SPIK2000A和SPIK3000A三種。SPIK系列涵蓋的功率范圍可從0.5KW到30KW。
Melec電源脈沖發(fā)生器,除了單獨(dú)產(chǎn)生脈沖之外,也可進(jìn)行疊加使用,根據(jù)不同的應(yīng)用以及不同的基材等,進(jìn)行各種不同的疊加。
對(duì)于單靶或者單弧源來說,可以進(jìn)行直流和單極HiPIMS高能脈沖、直流和單極脈沖以及單極脈沖和單極HiPIMS高能脈沖疊加,實(shí)現(xiàn)共濺射的功能。
直流和單極HiPIMS高能脈沖疊加
對(duì)于雙靶來說,可以進(jìn)行更多種的疊加,比如雙極脈沖和雙極HiPIMS高能脈沖、單極脈沖和雙極HiPIMS高能脈沖(Bias偏壓同步)、雙極HiPIMS高能脈沖/雙極脈沖和單極脈沖(Bias偏壓同步)、單極HiPIMS高能脈沖/雙極脈沖和單極脈沖(Bias偏壓同步)、雙極HiPIMS高能脈沖和RF(Bias偏壓同步)以及單極HiPIMS高能脈沖和RF(Bias偏壓同步)疊加等。