OXFORD電源維修START SPELLMAN電源XRM50P200
spellman電源常見(jiàn)故障及維修:
故障現(xiàn)象1:打開(kāi)電源,電源指示燈不亮;
故障現(xiàn)象2:電源燈亮了,預(yù)熱燈不亮;
故障現(xiàn)象3:電源燈亮了,預(yù)熱燈亮、輝光亮,匹配器功率及反射功率,電源的功率指示和電流指示不正常。(正常的功 率指針指到220,電流指示0.4)
故障現(xiàn)象4:電源燈亮了,預(yù)熱燈亮,輝光不亮:;
故障現(xiàn)象5:無(wú)功率輸出;
故障現(xiàn)象6:有功率輸出,但是調(diào)不大,或是調(diào)不到正常值。
故障現(xiàn)象7:無(wú)反射功率,或反射功率過(guò)大,射頻功率源壞;
大功率射頻RF電源維修,太陽(yáng)能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP,PLASMA的設(shè)備電源,包括直流、高壓、脈沖、射頻、微波、匹配器、RPSC。
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