光電產(chǎn)品有機廢氣處理 半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD、LED有機廢氣治理

浙江一清環(huán)保多年在光電產(chǎn)品制造行業(yè)有機廢氣處理中總結(jié)，光電產(chǎn)品產(chǎn)生有機廢氣污染的主要有五類產(chǎn)品的生產(chǎn)過程：半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD、LED、印制電路板（PCB）、電子終端產(chǎn)品，下面重點介紹半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD、LED、印制電路板（PCB）有機廢氣治理。

（1）半導(dǎo)體集成電路

半導(dǎo)體制造工藝中VOCs 主要來源于光刻、顯影工序，在這些工序中要用有機溶液（如異丙醇）對晶片表面進(jìn)行清洗，其揮發(fā)產(chǎn)生的廢氣是有機廢氣的來源之一。同時，在光刻過程中使用的光阻劑（光刻膠）中含有易揮發(fā)的有機溶劑，如乙酸丁酯等，在晶片處理過程中產(chǎn)生的有機廢氣也要揮發(fā)到大氣中，是VOCs 產(chǎn)生的又一來源。

（2）TFT-LCD

包括檢查和測試在內(nèi)，TFT-LCD 的制造生產(chǎn)工藝可達(dá)到100 多道工序，生產(chǎn)過程中使用多種化學(xué)有機溶劑和特殊氣體，產(chǎn)生的VOCs 量大，組分復(fù)雜。TFT 液晶面板生產(chǎn)排放VOCs 污染物的工序主要集中在陣列工程和彩膜工程兩大部分。陣列工程中的光刻（涂膠、曝光和顯影），以及彩膜工程中的黑色矩陣BM 膜制造、彩色矩陣膜形成（紅、綠、藍(lán)，RGB）、保護(hù)膜生成、MVA 膜、PS（PHoto Spacer）膜生成是產(chǎn)生VOCs 的主要工藝。同時，在成盒工程中清洗工序使用的有機溶劑揮發(fā)也會產(chǎn)生少量的VOCs。TFT-LCD 的制造過程中產(chǎn)生的VOCs 主要是以異丙醇為主，其次依序是丙酮、單甲基醚丙二醇、單甲基醚丙二醇乙酸酯，這四種成分占了全部VOCs量的90%以上。

（3）LED

LED 電子組件生產(chǎn)產(chǎn)生的VOCs 污染物主要來源于基片處理和光刻，LED 生產(chǎn)過程中產(chǎn)生VOCs 的種類主要有三氯乙烯、丙二醇醚酯、異丙醇、丙酮、丁酮等。

半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD 和LED 廢氣治理技術(shù)

半導(dǎo)體集成電路、TFT-LCD 和LED 三類產(chǎn)品的生產(chǎn)中所產(chǎn)生的廢氣的情況大致相同，除了VOCs 以外，還含有酸性氣體、堿性氣體和一些有毒氣體，風(fēng)量大、濃度低。一般采用水吸收+沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮-高溫焚燒的組合技術(shù)進(jìn)行治理。

一通過水吸收（吸收塔）可以去除廢氣中的酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體。在有些情

況下，酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體集中單獨排放，不含有機物或有機物的濃度很低，只通過水吸收工藝即可，無需加裝吸附設(shè)備。如TFT-LCD 的刻蝕工藝廢氣治理。

第二步沸石轉(zhuǎn)輪（轉(zhuǎn)筒）吸附濃縮+高溫焚燒，對去除了酸性氣體、堿性氣體和有毒氣體的

低濃度有機廢氣通過沸石轉(zhuǎn)輪（轉(zhuǎn)筒）吸附濃縮后進(jìn)行高溫焚燒凈化。該技術(shù)目前在國外已經(jīng)被普遍采用，特別是在臺灣地區(qū)大量的液晶顯示器（TFT-LCD）的生產(chǎn)企業(yè)中均采用的是該技術(shù)。該技術(shù)凈化效率高（可達(dá)95%以上）、運行穩(wěn)定、安全性好，目前在電子生產(chǎn)行業(yè)廢氣治理中尚無更好的技術(shù)能夠取代。