簡(jiǎn)化高真空機(jī)組,取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢(shì)。對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備,也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力,進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間,由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過程相比很短,所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短,因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用,而這往往是非常現(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到大大的簡(jiǎn)化。
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