氦質(zhì)譜檢漏儀 MOCVD 設(shè)備檢漏 http://www.hakuto-vacuum.cn/product-detail.php?id=290 上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)，近日成功采購6臺Pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 用于 MOCVD 設(shè)備檢漏。 MOCVD 是在氣相外延生長(VPE)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù)。因?yàn)?MOCVD 生長使用的源是易燃、易爆、毒性很強(qiáng)的物質(zhì)，因此在設(shè)備出廠時必須要考慮密封性，否則一旦有毒物質(zhì)泄漏，后果不堪設(shè)想！ 上海伯東客戶廈門某大型 LED 生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)用實(shí)例： MOCVD 需要檢漏位置：所有懷疑有漏的地方都需要進(jìn)行檢漏，主要檢漏源供給、輸運(yùn)和尾氣處理系統(tǒng)（例如管路接頭、管道、焊縫等位置）。 根據(jù)客戶實(shí)際需要，MOCVD 檢漏基本配置：氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM 340 干式真空泵 ACP 28 如下圖所示： 伯東pfeiffer 氦質(zhì)譜檢漏儀 ASM340 MOCVD 檢漏方法：采用真空模式檢漏 1. 將設(shè)備通過波紋軟管連接檢漏儀 ASM 340，確認(rèn)連接完畢 2. 啟動 ASM 340，進(jìn)入待機(jī)界面；初次啟動時間大約 3min，以后啟動 < 1min 3. 按下開始鍵，先通過 bypass 閥門啟動干式真空泵 ACP 28 抽真空，到達(dá)一定壓力檢漏儀 ASM 340 開始工作，同時在設(shè)備懷疑有漏的地方噴氦氣；若有漏，檢漏儀馬上報(bào)警，顯示該噴射點(diǎn)有漏。 4. 檢測完畢，按下檢漏儀待機(jī)鍵，放氣、關(guān)閉電源，移除連接管路。 Pfeiffer 德國普發(fā)氦質(zhì)譜檢漏儀 ：上海伯東真空產(chǎn)品事業(yè)部是德國 Pfeiffer 銷售維修中心，我司是國內(nèi)較早代理 Pfeiffer 產(chǎn)品的公司， 原裝并提供 Pfeiffer 全系列真空產(chǎn)品的售后維修服務(wù)。 上海伯東主營產(chǎn)品：德國普發(fā) Pfeiffer 渦輪分子泵，干式真空泵，羅茨真空泵，旋片真空泵；應(yīng)用于各種真空環(huán)境下的真空計(jì)，氦質(zhì)譜檢漏儀，質(zhì)譜分析儀以及美國考夫曼公司 KRI 原裝離子源，美國 HVA 真空閥門，Polycold 冷凍機(jī)，離子刻蝕機(jī)等。 若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)信息或討論，請參考以下聯(lián)絡(luò)方式： 上海伯東：葉女士 T: 86-21-5046-3511 ext 109 F: 86-21-5046-1490 M: 86 1391-883-7267 ec@hakuto-vacuum.cn www.hakuto-vacuum.cn 上海伯東版權(quán)所有，翻拷必究！