奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡 通過整合光學(xué)顯微鏡的測量能力實(shí)現(xiàn)測量 多年的顯微鏡開發(fā)經(jīng)驗(yàn)成就了優(yōu)異的觀察性能 奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡系列采用了當(dāng)前zui光學(xué)顯微鏡中所使用的UIS2無限遠(yuǎn)校正光學(xué)系統(tǒng)。因此，觀察到的圖像具有高分辨率和高對比度，此外，像差也被完全消除，以確保實(shí)現(xiàn)對微小細(xì)節(jié)的高精度測量。 嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)確保品質(zhì) 奧林巴斯通過一個嚴(yán)格的可追溯系統(tǒng)控制測量顯微鏡的度。并且在安裝系統(tǒng)時奧林巴斯也提供了可追溯的校準(zhǔn)服務(wù)。 測量顯微鏡跟蹤系統(tǒng) STM7測量顯微鏡設(shè)計(jì)注重易用性 提供載物臺以適合眼下的樣本大小 [常見問題] ? 短測量行程無法滿足較大樣品的測量需求。 ? 目前為止，大型載物臺在X軸方向提供了足夠的測量行程，但是Y軸的行程仍然較小。在測量過程中需要通過旋轉(zhuǎn)樣品來補(bǔ)償比X軸覆蓋范圍要短的Y軸行程，這樣的做法費(fèi)事費(fèi)時，效率不高。 ? 由于可測量的范圍窄，無法將數(shù)量較多的樣品排列在載物臺上，以實(shí)現(xiàn)一次性同時測量。 [STM7解決方案] 共有四種獨(dú)特的正方形測量行程的載物臺可供選用，分別為：50 mm×50 mm、100 mm×100 mm、200 mm×200 mm 和300 mm×300 mm。不管是大的樣品還是小的樣品，總有一款載物臺會適合您要測量的樣品。 ? 300 mm長的方形載物臺在X軸和Y軸方向上可以提供相同的測量行程，這意味著可以不旋轉(zhuǎn)樣品就實(shí)現(xiàn)大型樣品的全部測量，比如300 mm的晶圓和印刷電路板。更多詳細(xì)內(nèi)容請咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。 使用相同的顯微鏡進(jìn)行低倍率和高倍率觀察 [常見問題] 大部分傳統(tǒng)的測量顯微鏡只可以專用測量物鏡或?qū)Ｓ媒鹣辔镧R，無法同時滿足多種觀察要求。 [STM7解決方案] 奧林巴斯STM7工具測量顯微鏡可以通過安裝一個測量物鏡適配器使用測量物鏡，而更換為物鏡轉(zhuǎn)盤后，便可使用金相物鏡。這意味著， STM7將金相光學(xué)系統(tǒng)和測量光學(xué)系統(tǒng)同時結(jié)合在一臺測量顯微鏡中。通過這種方式，無論是測量大型樣品還是精細(xì)樣品，或是表面高度差異大的樣品，STM7系列都可以對應(yīng)并協(xié)助用戶選擇zui佳的觀察方法。 手動Z軸調(diào)焦機(jī)型 手動Z軸調(diào)焦機(jī)型提供了卓越的成本效益——通過操作被廣泛使用的調(diào)焦旋鈕，可以快速的上下移動Z軸。為測量具有各種高度樣品的用戶提供了方便。 電動Z軸調(diào)焦機(jī)型 使用電動調(diào)焦裝置可以大幅提高操作性，并減少了進(jìn)行聚焦和高度測量時的操作疲勞。粗微調(diào)焦的同軸旋鈕設(shè)計(jì)使使用者可以以習(xí)慣的類似手動的方式進(jìn)行操作，同時電動機(jī)型還可以配備自動聚焦單元。 一個具有突破性設(shè)計(jì)的控制單元大幅提升了測量顯微鏡的操作性 用于手動Z軸調(diào)焦機(jī)型： STM7-HS手動操作裝置 用于電動Z軸調(diào)焦機(jī)型： STM7-MCZ電動操作裝置 控制箱 各個單元的電源和通信均被集成在一個單一的控制箱中。即使是添加一些可選功能比如聚焦導(dǎo)航功能也不需要增加額外的電源裝置，這樣的設(shè)計(jì)可以zui大程度地減少占用工作空間。 旋轉(zhuǎn)載物臺 使用微調(diào)旋鈕可以輕松實(shí)現(xiàn)對樣品的平行對齊。 測量支持系統(tǒng) 即使對復(fù)雜形狀也能實(shí)現(xiàn)更快、更簡單、更的測量 對于顯示測量顯微鏡輸出的數(shù)據(jù)和圖像來說，看的越清楚也就能更方便更快捷地使用和測量。為了支持高精度、高復(fù)雜性的測量，奧林巴斯測量軟件可以和數(shù)碼照相機(jī)結(jié)合使用。更多詳細(xì)內(nèi)容可咨詢上海富萊光學(xué)、奧巴儀器。 STM7規(guī)格 小型手動鏡架 STM7-SF 小型電動鏡架 STM7-SFA 中型手動鏡架 STM7-MF 中型電動鏡架 STM7-MAF 大型手動鏡架 STM7-LF 大型鏡架 STM7-LFA 顯微鏡 鏡架 聚焦 垂直移動范圍 175 mm 145 mm zui大的測量高度 120 mm（配備測量物鏡） 175 mm（配備金相物鏡） 90 mm（配備測量物鏡） 145 mm*1（配備金相物鏡） Z軸測量分辨率 0.1 μm Z軸驅(qū)動方法 手動同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 電馬達(dá)驅(qū)動： ●聚焦按鈕： 移動速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) 手動同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 電馬達(dá)驅(qū)動： ●聚焦按鈕： 移動速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) 手動同軸 微調(diào)/粗調(diào) 焦旋鈕 電馬達(dá)驅(qū)動： ●聚焦按鈕： 移動速度 8 mm/s（zui大） ●微/粗調(diào)焦旋鈕： 微調(diào)焦速度（旋轉(zhuǎn) 一周移動量） 有4檔可供選擇 (800 μm，400μm, 100 μm，50 μm) 照明 LED照明 白色：用于反射光照明，綠色：用于透射光照明 鏡筒 正像單目鏡筒，正像三目鏡筒(100:0/0:100) 物鏡 測量顯微鏡用 MM6-OB系列 金相顯微鏡用 MPLFLN 系列, LMPLFLN 系列, MPLFLN-BD 系列, LMP LFLN-BD 系列 目鏡 MM6-OCC10X (帶十字線, FN 22), MM6-O C10X (FN 22) 載物臺 測量范圍 STM7-CS50: X軸 50 mm, Y軸 50 mm STM7-CS100: X軸 100 mm, Y軸 100 mm STM7-CS200: X軸 200 mm, Y軸 200 mm STM7-CS300: X軸 300 mm, Y軸 300 mm 測量度 (L：測量長度) STM7-CS50: (3 L/50) μm STM7-CS100: (3 2L/100) μm (3 4L/200) μm (3 6L/200) μm 度重量 STM7-CS50: 5 kg STM7-CS100: 6 kg 10 kg 15 kg 計(jì)數(shù)器顯示 軸數(shù) 3軸 單位 毫米/微米/英寸/密耳 zui小分辨率 0.1 μm 外形尺寸（寬×長×高）（mm） 466 x 583 x651 466 x 583 x 811 606 x 762 x 651 606 x 762 x 811 804 x 1024 x 686 804 x 1024 x 844 重量 約84 kg 約92 kg 約152 kg 約159 kg 約277 kg 約284 kg 額定功率 100-120/220- 240V ~ 物鏡 測量物鏡 MM6-OB系列 59.6 76.8 65.4 50.5 - - - 金相物鏡 MPLFLN系列 明場 - - 20.0 11.0 3.1 1.0 1.0 LMPLFLN系列 長工作距離 - - 22.5 21.0 12.0 10.6 3.4 MPLFLN-BD系列 明場/暗場 - - 12.0 6.5 3.0 1.0 1.0 LMPLFLN-BD系列 明場/暗場 長工作距離 - - 15.0 10.0 12.0 10.6 3.3